155217. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető gyártására szolgáló szilícium nyomelem tartalmának meghatározására roncsolásmentes neutronaktivációs analízissel
155217 I középről — d,arc tg R 1+d^z sin<p-exp I — lri2 _d—z COS9:, d<Pdz d,arc tg R 1+d—z sin<Pd<pdz —1 I széléről : I II/'2,d,arc tg IÍ.Í sin.?' • exp -ooo L 2Rcos# "l+d^z F ln2 M„ Ms Ks d—z cos<P d^dzd^ i2Rcos# 1+d^z" sin<pd?idzd# II/2,d,arc tg ahol Io lenne a bejutás valószínűsége, ha önabszorpció nem lenne. A formula egzaktul még ebben az egyszerűsített formában sem értékelhető ki, de elektronikus számítógép segítségével az integrálok értéke numerikusan kiszámítható. A számítást elvégezve a K = Ivaiodißo korrekcióra két közel állói görbét kapunk, amely között a tényleges korrekció fekszik. Ezek közé berajzolható a tényleges korrekció görbéje is. A 2. ábrán ez látható az L=2R esetre-A méréshez összehasonlító standardként nagy foszfortartalmú mintákat használunk, melynek foszfortartalma, >más módon, pl. nagytisztaságú szilícium foszforral történt szennyezése és azt követően fajlagos ellenállás mérése alapján ismert. A mintát és a standardot termikus neutronokkal felaktíváljuk, majd az aktív szilícium lebomlása után a bétaszámláló elé helyezzük őket. Abszorbenssel biztosítjuk, hogy a mintának és a standardnak a detektorból látott felülete egyenlő legyen. A minta foszfortartalma a bétaszámlálóval mért aktivitások arányából megállapítható. Ha a mérendő mintát és a standardot együtt aktiváltuk fel, és mérésük között néhány óránál rövidebb idő telt el, (ezek nem szükségesek a méréshez, amennyiben ezek a feltételek nem teljesülnek megfelelő korrekció alkalmazható) akkor a mintának a detektor által látott részében a foszfortartalom (Mm ) ahol MS í a standardban lévő foszfor mennyisége, Am a minta, A s ; a standard aktivitása, K m és 15 KS Í pedig a két számított görbe között húzott félampirikus korrekciós görbén az adott Vastagságú mintákhoz és standardhez tartozó korrekciós értékek. 20 Az eljárással ellenőrzésképpen meghatároztuk azonos foszforkoncentrációjú vagy más nyomelemkoncentrációjú de különböző Vastagságú sziliciumminták foszfortartalmát. 25 35 40 Szabadalmi igénypont: Eljárás félvezető gyártásra szolgáló szilícium foszfortartalmának meghatározására, roncsolásmentes neutronaktiváeiós analízissel, azzal jellemezve, hogy a mérendő mintát és egy ismert foszifortartalmú mintát termikus neutronokkal felaktiválunk, majd az aktív szilícium lebomlása után bétaszámlálóval azonos geometriai viszonyok között megnézzük aktivitásukat, amiből a minta foszfortartalmát az Mm = M sí ^st _KS ,_ K.m K„ képlet alapján kapjuk, ahol Ks ; és K m értékét a 2. ábrával megadott félempirikus úton kapott képletből olvassuk le. 2 rajz, 2 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 6907146. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23.
