155127. lajstromszámú szabadalom • Eljárás 0,05 mikronnál kisebb felületi érdességű félvezetőkristály-felületek előállítására

salétromsavat, 15—30% hidxogénfluoridot, adott esetben a halogén feloldására elegendő mennyiségű oldószert, továbbá vizet tartalmaz. A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 6808145. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23. 2 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja azzal jellemezve, hogy a maratást 0 és 90 C° között végezzük.