154200. lajstromszámú szabadalom • Eljárás tranzisztorok előállítására

Szabadalmi osztály: 21 g 1;—16 NcuizetltiM osztály: Hóid 100 50-10\ i. *' -•!• * i m—-« I U. /<? I I I Ubro 15 mikron 20 100 50 10 -í fc L. • * •* 1 1 I I I |__ 10 « .. 15 &ébro 20 mikron