153710. lajstromszámú szabadalom • Eljárás kerámia testeknek fémmel történő vákuumzáró forrasztására
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGALATI TALÁLMÁNY Bejelentés napja: 1965. IX. 24. (TA—865) Közzététel napja: 1966. XII. 27. Megjelent: 1967. IX. 20. 153710 Szabadalmi osztály: 49 h 25—33; 21 c 1—19; 80 b 8 Nemzetközi osztály: B 23 k H 02 g C 04 b Decimái osztályozás: Feltalálók: Dr. Hangos István tudományos osztályvezető, Geresdi László tudományos munkatárs, Pozsgay Sándor vegyésztechnikus, Budapest Tulajdonos: Távközlési Kutató Intézet, Budapest Eljárás kerámia testeknek fémmel történő vákuumzáró forrasztására i A modern vákuumtechnikában, különösen az elektroncső, félvezető és nukleáris technikában, egyre nagyobb jelentősége van a kerámiák alkalmazásának, mind vákuumzáró búra, mind szerkezeti elemek formájában. Előnyössé teszi 5 a kerámiák használatát azok nagy mechanikai szilárdsága, hőlökéssel szembeni ellenállása, méret és alakállandósága, valamint az: üvegnél lényegesen jobb elektromos és nukleáris tulajdonságai. 10 Szükséges olyan eljárás kialakítása, mely a kerámiáknak fémalkatrészekkel való összekapcsolását megfelelő mechanikai szilárdsággal és vákuumtömörséggel lehetővé teszi. A fenti cél elérésére szolgáló eljárások egyik 15 csoportját alkotják az ún. előfémezéses eljárások, melyeiknek közös vonása az, hogy kerámia felületére magas olvadáspontú fém vagy fémek: porát viszik fel és megfelelő módon történő ráizzítással biztosítják, hogy a kerámia felüle- 20 tén összefüggő fémes réteg kötődjön. Ezt galvanikus úton, vagy ugyancsak fémpor rávitelével nedvesedést elősegítő' Cu vagy Ni réteggel vonják be. Ehhez azután a fénnfém forrasztásnál ismert módok valamelyikével (pákával, 25 kályhában, nagyfrekvenciás hevítéssel stb.) forrasztják hozzá a fém alkatrészeket. Ilyen jellegű eljárásokról számos szabadalom és közlemény szól. A leírt eljárások, magas olvadáspontú fémként a Mo-t, W-ot, Mo és Mn, 30 Mo és Fe, W és Fe keverékét alkalmazzák. Ezek csak olyan kerámiákon alkalmazhatók önmagukban, melyek viszonylag sok SiCVt tartalmaznak, tehát jelentős üvegfázis van bennük. A kötés tulajdonságai és reprodukálhatósága nem mindig kielégítő és nagymértékben függ az üvegfázis mennyiségétől és, minőségétől. Különösen nehéz a megbízható kötés létrehozása az ún. tűzálló oxidkerámiákon, mint pl. a magas A120 3 , BeO, MgO, Zr0 2 tartalmú kerámiák. Ezen egyes eljárások úgy kívánnak segíteni, hogy a magas olvadáspontú fémhez: valamilyen, a kötést elősegítő adalékot tesznek, pl. molibdén boridot, vagy üvegszerű anyagokat, vagy ún, aktív fémeket, Ti vagy Zr-t. Ezek az anyagok részben nehezen hozzáférhetőek, egyesek a fémréteget túlságosan rideggé teszik, felhasználásuk egyes esetekben vákuumtechnikai szempontból is aggályos lehet. Eljárásunk az említett nehézséget úgy kívánja megoldani, hogy a magas olvadáspontú fémhez, mely a legtöbb esetben Mo és Mn, keveréke, kötést elősegítő adalékként olyan, könnyen oxidálódó fémeket adunk, amely egyfelől oxidjai révén az: alkalmazott kerámiákkal azok felületén kémiai ill. fizikokémiai úton kötődnek, másfelől a magas olvadáspontú fémmel vegyületieket, ill. ötvözeteket alkotva, biztosítják annak kötődését is. 153710
