153642. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés szűrő- és rezgőkristályok gyártásánál jelentkező elektromos ikrek és referenciaél nélküli hulladékok feldolgozására

153642 az alaporientáció műveleténél a nyerskristályból előállítunk: egy felszeletelésre kerülő tömböt és két -darab referenciáéi nélküli hulladékot. Ezek megmunkálása úgy történik, hogy a tömbökből kiválasztott ikres kristályokat X lapkákra szeleteljük fel, a végleges referenciaélet ezen az egyes felszeletelt lapkákon határozzuk meg olymódon, hogy a lapkákat (fig. 8.) szögmérő« fénydobozra tesszük, a lapkák Z alapját a szögmérős fénydobóz 6 ütközőjéhez helyezzük és az X tengely polaritását véve figyelembe a gyártandó kristálytípusra jellemző referenciaélt rajzoljuk be, majd a szögkorrigáló készülék segítségével levágjuk. A hulladék X metszet felületét a tűfénydobozra helyezzük, az X tengely X pozitív képéből (fig. 6.) meghatározzuk és berajzoljuk az Y tengely irányát, majd ezzel párhuzamosan csiszolunk vagy vágunk egy síkot, a röntgenkészüléken a találmány szerinti befogó segítségévei meghatározzuk a gyártandó kristálytípusnak megfelelő végleges referenciaélet. A tömbök megmunkálási eljárásának végrehajtására szolgál egy a találmány szerinti szögmérős tűfénydoboz (fig. 8.), jellemezve egy 1 mozgatható élvonalzóval, az éivonalzó alatt levő elforgatható, fokbeosztással ellátott 3 tűfényfuratokát és körhúr irányban elhelyezett 6 ütközőt hordozó 2 tárcsával. A referenciáéi nélküli hulladékok megmunkálási eljárásának végrehajtására szolgál egy a találmány szerinti elforgatható röntgen befogókészülék (fig. 9.), jellemezve két 5 ütközővel, állítható 3 rugósszerkezettel és egy kétdimenziöhan elmoizdítható 6 élvonalzóval. Az ikres kristályok végorientációját pontos Z metszet meghatározásával kezdjük. Z tömböket vágunk, a tömböket röntgenkészüléken a 001 atomsíkról elenőrizzük. Szeletelés és savazás után a kristályhibák figyelembe vételével az ikreket elhatároljuk (fig. 4.). Szögmérős tűfénydoboz ütközőjéhez helyezzük az Y tengellyel párhuzamos referensélt és figyelembe véve, hogy merre forgatja a poláros fény síkját, a kívánt szögnek megfelelően elforgatjuk a kristályt és referenséit jelölünk be. Ikres kristályoknál mindkét kristály szerkezet hasznosítható úgy, hogy a lapokon savazás után az ikreket elhatárolva az iker határvonalon ketté vágjuk és ezután az ikres részen a negatív irány figyelembevételével a helyes referenciaélt rajzoljuk be. E művelet után az iker is, mint jó kristály jelentkezik. Ezután a jelölésnek megfelelően a kis gyémántos vágón alkalmazott szögkorrigálóval (fig. 10.) reierenciaélet vágunk. Alaktalan X metszeteken az Y tengely irányát új módszerrel határozzuk meg. A tűfénydobozon X metszet pozitív képéből állapítjuk meg az Y tengelyt. A fig. 6-on feltüntetett pozitív kép hosszabbik szára adja az Y tengely irányát. Erre merőleges a Z tengely, míg • a lapra az X tengely. A negatív irány az X pozitív kép rövid rajzolatait metszi. A két rövid rajzolat-szár a hosszabbik szárral 38°-ot zár be: A tengely, valamint a negatív irány biztos jellemzéséből bármely X lapon pontosan meghatározó referenciáéi állítható be. 5 Referenciáéi nélküli X metszeten a tűfénydobozon az Y tengely irányát és a negatív irányt meghatározzuk. Az Y tengely irányával párhuzamosan vágunk vagy csiszolunk egy élsíkot, amit a szögmérős röntgenbefogón el-10 helyezve bemérünk, majd a szögéi-vonalzóval a negatív irány figyelembevételével a kívánt referenciaélt bejelöljük és az előzőkben ismertetett módon vágjuk. A röntgenszög ellenőrzése a következőkép-15 pen történik. Pl. ZT kristályokon a ZT metszetnél az Y atomsíkról 010-ről mérjük a 001 atomsíkhoz viszonyított elforgatást. A ZT referenciáéi helyzete a 001 atomsíkhoz és a negatív irányhoz viszonyítva állandó, ezért 100%-os 20 biztonsággal állapítható meg az elforgatás szöge és a kristály térbeli helyzete (fig. 7.). Kitűnik, hogy a ZT kristályoknál minden esetben az a szögnek kell nagyobbnak lenni, mert ez biztosítja az orientáció pontosságát pozitív t0 irányban. Így gyártás közben is könnyen ellenőrizhető a kristály térbeli helyzete annálfogva, hogy minden ZT kristálynál a negatív irányhoz viszonyítva ugyanabban az állásban mérhető a kis-, ill. a nagy mérés. A találmány szerinti eljárás előnyei: üzembiztos gyártástechnológia a negatív irány mindenkori pontos meghatározására és röntgenellenőrzésre. Továbbá a nyersanyag maximális kihasználhatósága az elektromos ikrek és az ;o 55 40 X hulladók hasznosítása következtében. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás szűrő- és rezgőkristályok gyártásánál jelentkező elektromos ikrek feldolgozására, azzal jellemezve, hogy az ikres kristályokat X lapkákra szeleteljük fel, a lapkákat szögmérős fénydöbozra tesszük, a lapkák Z alapját a szögmérős fénydoboz ütközőjéhez helyezzük és az X tengely polaritását véve a gyártandó kristálytípusra jellemző referencia-50 élt berajzoljuk, majd a szögkorrigáló készülék segítségével levágjuk. 2. Eljárás szűrő- és rezgőkristályok gyártásánál jelentkező referenciáéi nélküli hulladék feldolgozásária, azzal jellemezve, hogy a hullj 5

ladék X metszet felületét a tűfény dobozra helyezzük, a X tengely X pozitív képéből meghatározzuk és berajzoljuk az Y tengely irányát, majd ezzel párhuzamosan csiszolunk vagy vágunk egy síkot, a röntgenkészüléken 60 a találmány szerinti befogó segítségével meghatározzuk a gyártandó kristálytípusnak megfelelő végleges referenciaélet. 3. Az igénypont szerinti eljárás végrehajtására szolgáló szögmérős tűfénydoiboz .azzal jel-65 lemezve, hogy egy mozgatható élvorialzója. az