153236. lajstromszámú szabadalom • Eljárás nagy mechanikai szilárdságú amorf védőréteg előállítására félvezető egykristályok készítésénél

153236 4 elérheti a dermedéspontot. A dermedjéspoiíffcon levő olvadékból új kristálygóc keletkezhet, amelynek már más lehet az orientációja, mint az eredetileg növeszteni kívánt kristálymagé. Az új góe vagy gócok a fcristálynövesztés folyamán tovább növekednek az eredeti orientációjú kristállyal. Így aztán az egykristályos Germánium helyett — a folytonossági hiányok száma szerint — bi-, ül. poliikristállyal benőtt Germániumot kapunk. Ez a Germánium félvezető eszközök gyártására alkalmatlan. A találmány a zónás egykristály-roövesztésnél használt kvarccsónak felületén nagy mechanikai szilárdságú amorf védőréteg előállítását célozza. A találmány szerint az alkalmazott koromréteg mechanikai instabilitásiát úgy szüntetjük meg, hogy a koromréteget egy vegyileg szerves összetételű védőlakkal vonjuk be. Ezen lakkréteg a koromrétegnek olyan mechanikai szilárdságot biztosít, hogy az egykristály-növesztésnél megkívánt igénybevételt nagyon jól bírja. A védőlakk már alacsony hőfokon elbomlik az alkalmazott védőgáz-keverékben és csak amorf szén marad hátra, amely teljeseri inaktív a Germánium egykristály-növesztés szempontjából. A találmány szerinti eljárás egy lehetséges módját a következő példa keretében mutatjuk be: Először apró szemcséjű homokkal lehomokoljuk a csónakot a belső felület megnövelése céljából. Ezzel a koromréteg tapadását megjavítjuk. Célszerű vékony kemény koromréfeggel is ellátni íhomokolás után a csónakot, mivel a korom jobban tapad kemény kormozott felületre, mint a lehoinokolt kvarcra. Ezután végezzük" el a Mgy karomréteg felvitelét hidrogéngáz segíts/égével. Az így befcormozott csónakot 20% 'hidrogéntartalmú nitrogén védőgázban 1200 C°-on 10 percig izzítjuk, majd a lehűlt csónakot 2%-os toluolban oldott polystirol oldattal bevonjuk. A 'bevonást úgy kell végezni, hogy az oldat finom permet alakjában jusson a csónak koromrétegére. A lakkréteg beszáradása után a csónakot 1000 C°-on 10 percig 20'% hidrogéntartahnú nitrogén védőgáz keverékében izzítjuk, majd lehűlés után megismételjük a lágy koromréteg felvitelét, az 1200 C°-os védőgázban való izzítást, s újra be-5 vonjuk 2%-os poUstiroJ oldattal. Beszárítás után már használhatjuk egykrigíály-^iíSvesztésre a csónakot. A találmány szerinti eljárásnál alkalmazott védőlakk célszerűen a következő szerves poü-10 merizátumoknak legalább együk©; polistirol, polietilén, poliamid, etílcellulóz, acetíicellulóz, polivinilaoetát. Ezzel a módszerrel lényegesen megjavítható a zónás egykristály-növesztés kihozatala, s el-15 hárul a Pfann-féle zónás egykristály-növesztés üzemesítésének egyik legfontosabb akadálya. Szabadalmi igénypontok: 2o 1- Eljárás egykristályok — célszerűen Germánium félvezető egykristályok — előállítására használható nagy mechanikai szilárdságú, amorf, inaktív védőréteg előállítására, ahol a kristálynövesztésre csónakot alkalmaznak, azzal jelle-25 mezve, hogy valamely szerves oldószerben valamely szerves polimerizátumot oldunk fel, a polimer oldatából a kristálynövesztésre használt csónak koromrétegén védőlakkot képezünk, i majd ezt a védőlakkot — a műveletek közbeni 30 hőhatás útján — amorf szénréteggé alakítjuk át. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a védőlakk a következő szerves polimerizátumofc legalább 35 egyike: polistíjrol, polietilén, poliamid, etilcellulóz, aeetilcellulóz, polivinilaoetát. 3. Az 1. vagy 2, igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a védőlakkot finom permet alakjában visszük fel 40 a csónak karamrétegére. 4. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a védőlakk-réteg beszáradása után a csónakot 1000 C° körüli hőfokon, kb. 10 percig 45 izzítjuk, hidrogéntartalmú nitrogén védőgáz-keverékben. A kiadásért felel: a Kftsga^asági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 6609543. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23. f