153197. lajstromszámú szabadalom • Félvezető készülék
153197 amelynél — legalább is üzemben — a nem kívánatos kapacitás csökkenthető. A találmány értelmében több zónával rendelkező félvezető készüléknek, amelynél az egymással határos zónák villatmos tulajdonsa- 5 gai különbözők, például különböző típusú vezetőképességük van és emellett legalább egy zóna villamosan össze van kötve kontaktus célra szolgáló fémréteggel, amely fémréteg ezen fémréteg és a fél vezetőtest között levő szige- 10 telő rétegen fekszik, az a jellemzője, hogy a szigetelő rétegnek fémréteggel takart része legalább részben vezető árnyékoló rétegen fekszik, amely árnyékoló rétegnek kontaktus célokra szolgáló szabad része van és az árnyékoló re- 15 teg és a félvezető testnek alatta fekvő része között záró réteg van. Az árnyékoló réteg egyszerűen fémrétegből állhat, -míg a záróréteg a félvezető testre felvitt szigetelő réteg lehet, például szilícium oxid-réteg. 20 Nyilvánvaló, hogy ha üzemben megfelelő potenciált helyezünk az árnyékoló rétegre, akkor a ikontaktus célokra szolgáló fémréteg és a félvezetőtest között levő kapacitás lecsökkenthető. Ha az érintkező célokra szolgáló fémréteg pél- 25 dául egy tranzisztor báziszónájával van összekötve és ez a fémréteg egészen a kollektorzóna fölé nyúlik, akkor visszacsatolást okozó. bázis-kollektor-kapacitás jelentkezik, ha a tranzisztort erősítő elemként emitterelektródjával SO konstans potenciálra kötik, például földelt emitterelektróddal használják. Ezt a visszacsatolást okozó bázis-jkollektor-kapacitást elkerüljük, te .az árnyékoló réteget ugyancsak konstans potenciálú pontra kötjük, például a föld- 35 re. Ekkor a bázis-koUektor-kapacitást mintegy helyettesítjük egy kapacitással, amely például a báziselektród és a föld között van, továbbá a kollektorelektród és a föld között levő kapacitással és ezek általában nem zavaróak. ' 40 Többek között ilyen esetben rendkívül egyszerű szerkezetet érhetünk el, ha az árnyékoló réteg a. félvezetőtest egy felületzónájából áll, amely a félvezetőtest alatta fekvő neszével p-nátmenetet képez. Ha ezt az árnyékoló réteget, 45 amely felületzónafcént szerepel, a földre kötjük, akkor a p-n-átmenet záró irányban önműködően elő van feszítve, amikor is a p-nátmenet helyén — mint ismeretes— nagy ellenállású zárórétég képződik. A találmány sze-. 50 rinti félvezető készülék egy további előnyös kiviteli alakját ennek [megfelelően az jellemzi, hogy az árnyékoló réteg a félvezetőtest egy felületzónájából áll és a záróréteget az a p-nátmenet képezi, amelyet a felületi réteg a fél- 55 vezetőtestnek alatta fekvő részével képez. Ha a félvezetőtestnek legalább két zónája kontaktus célokra szolgáló különálló fémrétegekkel van villamosan összekötve, akkor sok esetben ezen fémrétegek számára előnyösen fifl közös árnyékoló réteg alkalmazható. A találmány különösen fontos tranzisztor struktúrájú félvezető készülékek számára, amint az a fent elmondottakból kitűnik. A találmány szerinti félvezető készülék egy fon- 65 tos kiviteli alakjának ezek szerint az a jellemzője, hogy a félvezető készüléknek emitter-, bázis- és kollektorzónával rendelkező tranzisztor struktúrája van és az emitter- és báziszónának rétegkiterjedése kisebb mint a kallektorzónáé és »az emitter- és tóziszóna kontaktus célokra szolgáló fémrétegekkel van villamosan összekötve, amely fémrétegek a kollektorzóna fölé terjednek és ezen fémrétegek közül legalább egy és a félvezetőtestnék alatta fekvő, a kollektorzónához tartozó része között árnyékoló réteg van. Ahogy az elmondottakból már adódik, a találmány szerinti félvezető készülék villamos jelek erősítésére szolgáló : fontos kiviteli alakjának az a jellemzője, hogy az árnyékoló réteg konstans potenciálú pontra van kötve, míg egy villamos jelek erősítésére szolgáló különösen fontos kiviteli alaknak, amelynél a félvezető készüléknek tranzisztoros struktúrája van, az a jellemzőié, hogy a tranzisztor struktúra báziszónája villamos jelforrásra .csatlakozik továbbá hogy az emitterzóna konstans potenciálú pontra van kötve és hogy a báziszónával villamosan összekötött és kontaktus célokra szolgáló fémréteg és a kollektorzóna között árnyékoló réteg van elrendezve, amely ugyancsak _ konstans potenciálú pontra, például ugyanazon konstans potenciálú pontra van kötve, továbbá egy villamos jelek .erősítésére szolgáló további kiviteli alaknál, amelynél a félvezető készüléknek tranzisztor struktúrája van, az a jellemző, hogy a tranzisztor struktúra emitterzónája csatlakozik villamos jelforrásra és a báziszóna konstans potenciálú pontra van kötve és hogy az emitterzónával villamosan összekötött és konstans célra szolgáló fémréteg és a kollektorzóna között árnyékoló réteg van elrendezve, amely ugyancsak konstans potenciálú pontra, például ugyanazon konstans potenciálú pontra van kötve. Nyilvánvaló, hogy a találmány előnyösen alkalmazható olyan félvezetőtesttel rendelkező félvezető készülékeknél, amelyekben több félvezető kapcsoló elém, mint például. tranzisztor vagy dióda van elrendezve és amelyeknél kontaktus célokra szolgáló és szigetelő rétegen fekvő fémréteg kapcsoló elem között villamos összeköttetést képezhet. A találmányt rajz alapján részletesebben ismertetjük. A rajzok néhány kiviteli példát ábrázolnak. Az 1. ábra egy találmány szerinti tranzisztor vázlatos felülnézete. A 2. ábra ezen tranzisztornak az 1. ábra II—II vonala mentén vett metszete. A 3. ábra ezen tranzisztornak az 1. ábra III—III vonala mentén vett metszete. A 4. ábra a találmány szerinti tranzisztor egy másik kiviteli példájának felülnézete; az 5. ábra ezen tranzisztornak a 4. ábra V— V vonala mentén vett metszete és% a 6. ábra a 4. ábra VI—VI vonala mentén vett metszet. . Az 1., 2. és 3. ábra szerinti kiviteli alak félvezető készüléket mutat, amelynek 1 félvezető-2