152113. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és készülék felületi minőség mérésére mikrohullámmal
3 152113 4 I mentes a faláramok növekedése ellenére sem csökken az üregrezonátor jósági tényezője, mivel az üregrezonátoron dielektrikummal kitöltött részében er arányban nő a tárolt energia. Koaxiális üregrezonátor helyett célszerűbb olyan üregrezonátor típust alkalmazni, amely fedőlapjának nem kell fémesen érintkezni az üreg palástjával. Az üregrezonátorok számításakor a Marxwell egyenleteket kell megoldani. A végeredmény hasonló mint amelyet a koaxiális tápvonalakra vonatkozólag kaptunk. A találmány szerinti eljárás foganatosítására alkalmas üregrezonátor típus példaképem kiviteli alakja a 2. ábrán látható. A4 próbadarab TE0 // móddal működő üregrezonátor fenéklapja, amelyhez a 7 palást és a 4 próbádarab között nincs szükség fémes érintkezésre! Az 5 gumigyűrű folyadékzáróan tömítést hoz létre a 7 palást és a 4 próbadarab között. A próbadarab feletti tér tehát folyékony dielektrikummal pl. transzformátor olajjal kitölthető. A folyadék betöltésére a fedőlapon elhelyezett 8 töltő-nyílás, a folyadékszínt beállítására pedig a 9 túlfolyó nyílás szolgál. Szabadalmi igénypontok: 1. Feíületi minőségmérési eljárás, amelynek során a mérendő felület síkidom alapú és arra 5 merőleges palástú célszerűen az alappal párhu^ zamos fedőlapú — vezetőanyagból készült üregrezonátor alapjaként képezzük ki, amely üregrezonátor jósági tényezőjét megmérjük és abból számítjuk ki a felület minőségét jellemző mé-10 rőszámot, azzal jellemezve, hogy az üregrezonátor belső terét a próbafelülettel érintkező, egynél nagyobb dielektromos állandójú dielektrikummal részben kitöltjük úgy, hogy a dielektrikumnak az üregrezonátor tengelye irányában 15 mért mérete a dielektrikummal kitöltött üregrezonátorban mérhető csőhullámihossznak legalább egynegyvenede és legfeljebb egyharmada, célszerűen a hullámhossz egynegyede. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganato-20 sítási módja, azzal jellemezve, hogy a mérés-' hez egyenes körhengerként kiképzett üregrezonátort alkalmazunk. » 3. A 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja azzal jellemezve, hogy az üregrezoí5 nátort a méréshez TE 0;„ móddal működtetjük. 4. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja azzal jellemzeve, hogy dielektrikumként folyadékot alkalmazunk. 1 rajz, 2 ábra Figyelembe vett nyomtatványok: - 147 295 számú magyar és 879 318 számú NSZK szabadalom. A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 6S6699. Zrínyi (f) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—28. t