152079. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető termékek nagy keresztmetszetű átmeneteinek előállítására
y 152079 Szabadalmi osztály: 21 g 1—16 Nemzetközi osztály: H ül 1 8 7 \ =^= 12^^ SSSSSS 0*0 o o o o o o o i o o o o o o O O- o 6 \ 3. obra. X /2 7
/
