152029. lajstromszámú szabadalom • Berendezés folyamatoknak nagyvákuumú berendezésekben, különösen olvadási folyamatoknak nagyvákuumú olvasztókemencékben való megfigyelésére
0 MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÄLMÄNYI HIVATAL •í^ar ADALMI ÍRÁS Bejelentés napja: 1962. XI. 15. (VA—<1040) Német Demokratikus Köztársaság-beli elsőbbsége: 1961. XI. 21. és 1962. IX. 29. Közzététel napja: 1964. XI. 23. Megjelent: 1965. XII. 01. 152029 Szabadalmi osztály: 18 c 5 1/74 Nemzetközi osztály: C 21 d 1/74 Decimái osztályozás: 621.785.621.783.086.7 Feltalálók: Prof. dr. Westmeyer Hans-Georg, fizikus, Dr. Schiller Siegfried, oki. fizikus, Heiisig Ulrich oki. fizikus, Dresden., Német Demokratikus Köztársaság Tulajdonosi: VEB VAKUTRONIK DRESDEN, Dresden, Német Demokratikus Köztársaság Berendezés folyamatoknak nagyvákuumú berendezésekben, különösen olvadási folyamatoknak nagyvákuumú olvasztókemencékben való megfigyelésére A találmány tárgya berendezés, amely nagyvákuumú készülékekben végbemenő folyamatok megfigyelésére szolgál és különösen elektronsugaras olvasztókemencékben kerül alkalmazásra, amelyeknél a megfigyelésre szolgáló átlátszó részek bepárásodnak és ezáltal át nem látszó réteg képződik. Az elektronsugaras olvasztás mind nagyobb jelentőségre tesz szert. Ennél a módszernél a gyorsított elektronok mozgási energiáját használják fel a fém fölmelegítésére. Ennek az eljárásnak a nagyvákuumú ívkemencékkel szemben az az előnye, hogy elvileg tetszőlegesen jó vákuumban lehet az olvasztást elvégezni. Míg a nagyvákuumú ívkernencék olvasztóterében a. nyomás 10~2 Torr-nál nagyobb, az elektronsugaras olvasztókemencéknél a nyomás 1(T3 —KT5 Torr között van. Mint ismeretes, a közepes szabad úthosszakra a következő összefüggés érvényes: [mm] P (1) [Torr] A c értéke például levegő esetére kb. 0,05. A közepes szabad úthossz tehát nagyvákuumú ívkemencéknél 5 mm körüli érték, míg az elektronsugaras olvasztókemencéknél 50—5000 mm értékek között mozog. Ez a nagy l érték hátrányos az elektronsugaras olvasztókemencéknél a megfigyelés szempontjából. Míg a nagyvákuumú ívkemencékben az elpárolgó 5 fématomok a megfigyelőablak felé vezető útjukon — amely gyakran 500—1000 mm távolságban van az olvadéktól — sokszor összeütköznek és szétszóródnak, addig az elektronsugaras olvasztókemencékben az elpárolgó fém-10 atomok 10-4 Torr nyomás környékén szinte ütközés nélkül jutnak a megfigyelő ablakhoz. Ennek az a következménye, hogy a megfigyelő ablakra való rápárolgás itt sokkal nagyobb mértékű. Olyan fémeknél, amelyek üvegre 15 vagy fémfelületre való rápárolgásnál tükröző felületet adnak, megkísérelték, hogy a fémolvadékot az ismételten újrakópződő tükrön keresztül figyeljék meg. Ennek a módszernek, az a hátránya, hogy csak speciális anyagoknál al-20 kalmazható. Egy másik módszer szerint az ablakokat hasonlóképpen mint az ívkemencéknél oly módon szerkesztették meg, hogy azok általában egy fémvédőlemez mögött helyezkednek el és csak a megfigyelés idejére forgatják 25 azokat a látómezőbe. Ez a módszer az ívkemencéknél megfelelő eredménnyel jár ugyan, az elektronsugaras olvasztókemencéknél azonban nem. Ez utóbbiaknál ugyanis feltétlen szükséges a sokszor órák hosszat elnyúló ol-3f) vaszitási folyamat szinte megszakítás nélküli 152029