151775. lajstromszámú szabadalom • Eljárás 0,05 mű-nál kisebb felületi érdességet biztosító ffélvezető kristályfelület előállítására

151775 5 6 Szabadalmi igénypontok: tett 20—60% ccHNOs

-t és komplexképző komponensként 40—80% HF-t tartalmaz. 1. Eljárás félvezető anyagok roncsolt rétegtől, 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás kivitelezési marási struktúrától mentes, 0,05 ,"-nál kisebb módja azzal jellemezve, hogy a termosztált felületi érdességet biztosító, tükrös, sík felüle- 5 maróelegyben a vízszintesen elhelyezett kristály teinek kémiai úton történő előállítására azzal marását 0—30. C° hőfoktartományban végezzük, jellemezve, hogy a marást olyan maróeleggyel miközben a maróelegyet kézi, vagy gépi úton. végezzük, mely oxidálószerként 0—60 C°-on 5— a marási felületre merőlegesen keverjük. 120 perc alatt 0,1—1% mennyiségű jóddal telí-A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 654893. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23. 3