151505. lajstromszámú szabadalom • Eljárás piezoelektromos rezgőelemek vastagságmérettől függő frekvenciájának, illetve vastagságméretének az optikai csiszolás során való mérésére és berendezés ezen eljárás lefolytatására
151505 8 vastagságméretének mérése passzív áramkörben, egyrészről a mérendő kristályon átvezetett frekvenciamodulált jelnek demodulálás után katódsugároszcilloszkóp egyik lemezpárjára ' —, másrészt a frékvenciamoduláló jelnek a katódsugároszcilloszkóp másik lemezpárjára való vezetésével, a mérőfrékvenciának frekvencia jelzőként i(marlkerként) való alkalmazása mellett történik. 2. Berendezés az 1. igénypont szerinti mérési eljárás lefolytatására, amely berendezés magábanvéve ismert, frekvenciamodulált jel előállítására szolgáló generátor-elrendezést, mérőgenerátort, demoduláló-elrendezést és katódsugároszcilloszikópot, valamint elektromosan vezetőanyagú vagy -^bevonatú síktárcsára illesztett kristályoknak a mérőáramkörbe való váltakoz"5 beiktatására szolgáló hálózatot tartalmaz, — jellemezve a következők szerint együttesen alkalmazott és egymáshoz kapcsolt berendezési elemekkel: a) frekvenciamodulált jelgenerátor Gje n amelynek a Q érintkezőpár közé helyezendő mérendő kristályon és a demoduláló-elrendezésen D átvezetett, beállítható frekvenciájú feszültség] ele a katódsugároszcilloszkóp O egyik lemiezpárjára jut, •— b) frékvenciamoduláló segédgenerátor Gm od, amelynek feszültségjele egyrészt az általa modulálandó jelgenerátorra Gje i, másrészt a katódsugároszcilloszkópnak O a frekvenciamodulált jelgenerátor Gje i által vezérelttől különböző másik lemezpárjára jut, — c) beállítható frekvenciájú mérőgenerátor Gmérő, amelynek a demoduláló-elrendezésen D átvezetett feszültségjele frekveneiajelzőkéní (marker) a katódsugároszcillosz'kópnak O az itt 5 a) alatt körülírt lemezpárjára jut, — d) demoduláló-elrendiezés D a frekvenciamodulált jelgenerátor Gje i és a mérőgenerátor Gmérő feszültségjelének demodulálására, amely elrendezés a 'katódsugároszcilloszkópnak O az 10 itt a) alatt körülírt lemezpárjára csatlakozik, — e) katódsugároszcilloszikóp O, .amelynek egyik lemezpárjára a frekvenciamodulált jelgenerátor Gjei és a mérőgenerátor Gm érő demodulált feszültségjele, másik lemiezpárjára pedig a frek-15 venciamoduláló segédgenerátor Gm0 d feszültségjele jut, — f) a mérendő frekvenciájú ((vastagságú) piezoelektromos rezgőelemek egyrészről a frekvenciamodulált jelgenerátor Gje i, másrészt a mérő-20 generátor Gm érS és a demodulálo-elrendezés D közé 'helyezett érintkezőpárra Q i(váltakozva) való beiktatására szolgáló hálózat: aa) elektromosan vezető-anyagú vagy -bevonatú síktárcsa S, amely az érintkezőpár Q 25 egyik érintkezőjéhez vezetőileg csatlakozik és — célszerűen több — kristálylapka K rögzített elhelyezésére szolgál, — bb) elektromosan vezető-anyagú mozgatható tapogató-érintkező T, amely az érintkezőpár Q 30 másik érintkezőjéhez vezetőileg csatlakozik és a síktárcsára S rögzített —• célszerűen több — kristálylapkára K váltakozva ráhelyezhető. 1 rajz, 2 ábra Á kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 653150. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V;, Balassi Bálint utca 21—23; 4
