151266. lajstromszámú szabadalom • Molekuláris szivattyú

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1362, V. 28. Közzététel napja: 1963. IX. 23. Megjelent: 1965. V. 01. (DE—412) 151266 Szabadalmi osatály: 27 d Nemzetközi osztály: F 04 f Deci mái osztályozás: Feltaláló: Bollinger Helmut fejlesztőmérnök, Neuenhagen b. Berlin, Német Demokratikus Köztársaság Tulajdonos: Deutsche Akademie der Wissenschaften zu Berlin, Berlin-Adlershof, Német Demokratikus Köztársaság Molekuláris szivattyú 1 A találmány tárgya molekuláris szivattyú, amelynél a sűrítés sugárirányban történik. Mint ismeretes, a molekuláris szivattyúk működése azon alapul, hogy amikor a gázrészecskék gyorsan mozgatott határoló felületekbe 5 ütköznek, az illető felület mozgásirányában járulékos sebességkomponenst kapnak. Különböző kivitelű molekuláris szivattyúk ismeretesek. Ismeretesek olyan molekuláris szivattyúk, amelyeknek álló házban spirális 10 alakban elrendezett csatornái és forgó tengely vagy tárcsa alakú te&tjei vannak, amelyek a gázmolekuláknak a mozgási impulzust adják. Ismeretesek olyan molekuláris szivattyúk is, amelyeknél a forgó testeknek vannak spirális 15 alakban elrendezett csatornái és a határoló házfalak simára vannak kiképezve. Ezeknek az elrendezéseknek a hátránya abban áll, hogy két szomszédos csatornaszakasz között működés közben tekintélyes nyomás- 20 különbség alakul ki. Ha az ennek következtében létrejövő visszaáramlást kis mértéken kívánják tartani, akkor a csatornaszakaszok között levő választófalnál a forgó és nyugvó elem közötti távolságot igen kis értéken kell tar- 25 tani (0,01—0,02 mm). Ez a csekély érték megnehezíti a szivattyú készítését és mechanikai szempontból is könnyen meghibásodásra vezet. Egy másik ismert axiális kivitelű molekuláris szivattyúnál a visszaáramlást azáltal csök- 30 kentik, hogy egy-egy nyomásfokozat axiális hosszát kicsinyre készítik. Ezáltal minden fokozatnál csak kis nyomáskülönbség keletkezik és a visszaáramlás még akkor is kicsiny, ha a forgó és nyugvó elemek közötti hézag nagy. Mindazonáltal itt is nagy gyártási pontosságot követelnek, meg a forgó- és állórészeknél, minthogy a működés által megkövetelt nagy fokozatszám már kis tárcsa vastagságkülönbségek esetén nehézséget okoz a szerelésnél. Minthogy valamennyi rotor- és állórész-tárcsán horonyszerű kivágás van, ezek előállítása viszonylag nehéz. A találmány célja olyan molekuláris szivatytyú kialakítása, amelynél a rotor és sztátor elemek között viszonylag nagy hézagokat engedünk meg és emellett ezek az elemek egyszerű geometriai kiképzésűek, a nagy vákuum elérésére csak kevés sürítőfokozat szükséges, hogy nagy üzembiztonságot érjünk el és a szivattyúrészek elkészítése és szerelése könnyű legyen. A találmány értelmében a fenti előnyöket azáltal érjük el, hogy vezetőlemezek, amelyek a házba rögzítetten beépített vezetőkoszorúkban vannak elrendezve, egy vagy két mozgatott, határoló felülettel együtt sűrítőteret képeznek, amelynek szívókeresztmetszetét a lapátkoszorú kerületének és a vezetőlemez magasságának szorzata képezi és a vezetőlemezek 151266