151228. lajstromszámú szabadalom • Eljárás hőmérsékleteloszlás ellenőrzésére, főleg félvezető kristályok előállításánál, valamint berendezés az eljárás foganatosítására

151228 sec) a sokíszelektorral kapcsolatban levő megfelelő jellel lezárjuk; e) az a)—d) megoldásokat szükség szerint együttesen alkalmazzuk. Az ábra példaképpen a találmány szerinti eljárás megvalósítására alkalmas egy vezetékes, két felvevőcsővel működő televízió rendszer elrendezését mutatja. Az ábrán látható elrendezés lebegőzónás olvasztást ellenőrző berendezéssel kapcsolatos. A vizsgált Kr kristály olvadt zónájának képét az Q objektív a P osztóprizma segítségével, az 02

, ill. az O3 objektívek, valamint az OSZi, ill. az OSZ2 optikai szűrőkön keresztül a Ki, ill. a K2 televízió kamerákra viszik. A kamerákat az EG eltérítő generátor működteti. A képfelvevőcsövek által szolgáltatott, az optikai szűrőknek megfelelően különböző amplitúdójú képjeleket a hozzájuk tartozó Ei, ill. E2 erősítők erősítik, majd az erősített képjelek a KD keverőbe jutnak. A képjelek viszonya — aránya vagy különbsége —< a vizsgált képpont hőmérsékletére, ill. a televízió ábra egy sora mentén a berendezéssel vizsgált térrész hőmérséklet-eloszlására j ellemző. A Ki—Ex

láncról a képjeleket az M monitorra visszük, melyen a vizsgált tárgy teljes képe látható, ugyanakkor a monitoron beállítható a vonal-szelektor segítségével a kiválasztani kívánt sor. \ KD keverő által előállított jeleket a KE ellenőrző oszcilloszkópra visszük, mely a vonalszelektorral kiválasztott sor mentén egy, a vizsgált térrész hőmérséklet-eloszlására jellemző ábrát mutat. Az ábrán szereplő televíziólánc egyes tagjai között SZ szűrőáramkörök lehetnek elhelyezve, melyek a zónaolvasztásnál használatos nagyfrekvenciás generátor zavaró jeleit kiküszöbölik. Ugyanilyen SZ szűrőáramkörök lehetnek az egyes egységek (erősítők, monitorok stb.) hálózati táplálásába is beiktatva, Leírásunkban nem térünk ki további megoldások ismertetésére, a találmány azonban egyéb elrendezésekkel is megvalósítható. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás hőmérséklet-eloszlás ellenőrzésére, különösen technológiai folyamatok keretében, főleg félvezető kristályok előállításánál, azzal jellemezve, hogy a vizsgált tér meghatározott felületének képét — a mérendő térben hő hatására keletkezett elektromágneses hullámok spektrumára érzékeny képfelvevőcsővel — érzékeljük és az így nyert jelsereget olyan önmagában ismert ipari televíziós láncba tápláljuk be, amely önmagában szintén ismert vonal-5 szelektorral van ellátva, e vonalszelektor megfelelő beállításával a vizsgált hőmérsékleti tér tetszőleges helyén levő egy sor képj eleit ki -választjuk és oszcilloszkópon, vagy oszcillográfon ábrázoljuk a sor elemi képjeleinek ampli-10 tudómegoszlását. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítás! módja, azzal jellemezve, hogy a vizsgált tér meghatározott területének a képét különböző színkép tartományra érzékeny két felvevőcsővel érzékeljük és a két cső által szolgáltatott jelek különbségét, vagy arányát ábrázoljuk az oszcilloszkópon, vagy oszcillográfon. 15 25 30 60 65 3. Berendezés az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítására, amelynél hőmérséklet-eloszlást a vizsgálandó térben hőhatásra keletkezett elektromágneses hullámok spektrumának ábrázolása útján ellenőrizzük, azzal jellemezve, hogy e spektrumra érzékeny érzékelő elemmel (képfelvevőcsővel) rendelkezik, amelyhez önmagában ismert ipari T-lánc csatlakozik, amelynél a video-erősítő és a képcső közé vonalszelektor van iktatva. 4. A 3. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a két felvevőcső a színkép karakterisztikát javító egy vagy több 35 optikai szűrővel van felszerelve. 5. A 4. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy szilícium, germánium vagy a periódusos rendszer III—V. 40 oszlopaiból előállított intermetallikus félvezető ötvözetekkel kapcsolatos technológiai folyamatok során keletkező fényspektrumra érzékeny szűrőkkel van ellátva. 45 6. A 3—5. igénypont bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy érzékelő eleme fotokondukciós alapelven működő, infravörösben érzékeny — célszerűen PbS—PbO 'fotovezető réteggel ellátott — kép-50 felvevő cső. 7. A 3—6. igénypont bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy két képfelvevővel rendelkezik, amelyek ön-55 magában ismert jelátalakító fokozatok útján keverő fokozatra csatlakoznak és e keverő fokozat kimenetére csatlakozik a képvisszaadó egység (pl. video-erősítő bemenete). 8. A 3—7. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a vezetékes televízió berendezés a techtológiai folyamatokkal használatos nagyfrekvenciás generátor zavarój eleit kiküszöbölő önmagában ismert áramköröket tartalmaz. 3