151124. lajstromszámú szabadalom • Folytonos eljárás és berendezés rétegellenállások készítésére krakkolással

151124 11 12 alakítjuk a kívánt ellenállás-réteget, az így kapott rétegellenállásokat vákuumban lehűtjük, majd a rétegellenállások ellenállásértékét összehasonlítjuk a kívánt ellenállásértékkel, és a kívánt értéktől való eltérésnek megfelelő hibajel segítségével szabályozzuk a krakkolótérben levő hordozótesteken kialakítandó ellenállásréteg vastagságát. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, amelyre jellemző, hogy a krakkolóteret kisnyomású semleges gáz áramoltatásával elhatároljuk az előmelegítő, ill. a hűtőtértől. 3. Berendezés az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás megvalósítására, amelyre jellemző, hogy vákuumzáró önműködő hordozótest adagoló tartályai (62, 88), a tartályokhoz csatlakozó gyűjtőcsövei (100, 102), a gyűjtőcsövekben elrendezett, önműködően átkapcsoló csaprendszere (87, 87a), a gyűjtőcsövekhez csatlakozó, függőlegesen elrendezett krakkolócsöve (103), a gyűjtőcsövek és a krakkolócső csatlakozási szakasza alatt, a krakkolócső körül elrendezett előmelegítő egysége (106), az elő-10 15 20 melegítő egység alatt, a krakkolócső körül elrendezett krakkolótér fűtőberendezése (110), a krakkolandó gáz vagy gőz bevezetésére, ill. a krakkolási gázmaradék elszívására szolgáló bevezető csöve (108) és kivezető csöve (109). a krakkolócsőhöz a krakkolótér fűtőberendezés alatt csatlakozó hűtőtere (116), a hűtőtérhez csatlakozó háza (118), ebben a házban elrendezett, a kész rétegellenállásokat a hűtőtérből eltávolítható egysége (123, 132), a kész rétegellenállások ellenállásértékét mérő egysége (54), a házhoz (118) csatlakozó terelőcsövei (138, 138a). a terelőcsövekben elrendezett csapjai (122, 122a), a terelőcsövekhez csatlakozó gyűjtőtartályai (141, 141a), továbbá a gyűjtőtartályokon elrendezett vákuumleszívó csonkjai (147) vannak. 4. A 3. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, amelyre jellemző, hogy a kész rétegellenállások ellenálláséi'tékét mérő és a mért értékeknek megfelélő hibajel függvényében a hordozótestek haladási sebességét, vagy a krakkolandó gáz adagolási sebességét szabályozó elektronikus egysége van. 4 db rajz A kiadásért felei: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 642645 Zrínyi (T) Nyomda, Budapest, V., Balassi Bálint utca 21—23.