151124. lajstromszámú szabadalom • Folytonos eljárás és berendezés rétegellenállások készítésére krakkolással

151124 berendezésben folyamatosan végzik a krakkolást. A vízszintesen elhelyezett cső forog, és a semleges gázt, valamint a szénhidrogént a krakkolásra kerülő porcelántestekkel együtt vezetik be a rendszerbe; ezért már akkor is történik nem megfelelő kristályszerkezetű szénkiválás, amikor a munkadarabok még nem érték el az optimális krakkolási hőmérsékletet. Ezért az így kivált szénréteg nem köt szilárdan a hordozótesthez, és a kapott ellenállások stabilitása nem elégíti ki a korszerű igényeket. A találmány célja a fenti hátrányok kiküszöbölésével olyan eljárás és berendezés biztosítása, amelynek segítségével egyenletes rétegvastagságú rétegellenállások készíthetők, az ellenállás-értékek tetszés szerint szabályozhatók, és a kívánt ellenállás-értékek önműködően az előírt tűrésen belül tarthatók. A találmány további célja a rétegéilenállások készítésére szolgáló eljárás gazdaságosságának megjavítása. A találmány folytonos eljárás kristályos szén, bór-iszén és szilicium-szén rétegellenállások készítésére az ellenállás-rétegnek kerámiai hordozótestekre krakkolás útján történő felvitelével. Az eljárás lényege, hogy a kerámiai hordozótesteket vákuumban előmelegítjük lényegileg a krakkolás hőmérsékletére, majd a krakkolás hőmérsékletére fűtött krakkolótérben a hordozótesteket függőleges helyzetben, ellenálamban, vákuumban érintkeztéljük a krakkolandó gázzal vagy gőzzel. Eközben a krakkolási reakció eredményeként keletkező szilárd fázis révén kialakítjuk a kívánt ellenállásréteget, az így kapott rétegellenál'lásokat vákuumban lehűtjük, majd a réteg ellenállások ellenállás-értékét összehasonlítjuk a kívánt ellenállás-értékkel, és a kívánt értéktől való eltérésnek megfelelő hibajel segítségével szabályozzuk a krakkolótérben levő hordozótesteken kialakítandó ellenállásréteg vastagságát. A krakkolóteret kis nyomású semleges gáz áramoltatásával célszerű elhatárolni az előmelegítő, ill. a hűtőtértől, ami által megakadályozható, hogy a hordozótestekre a krakkolótér előtt vagy után lerakódhasson a krakkolási reakció eredményeként keletkező szilárd fázis. Az eljárás megvalósítására célszerűen olyan berendezést alkalmazunk, amelynek vákuumzáró önműködő hordozótest-adagoló tartályai, és ezekhez a tartályokhoz csatlakozó gyűjtőcsövei vannak. A gyűjtőcsövekben önműködően átkapcsoló csaprendszer van elrendezve. A, gyűjtőcsövekhez függőlegesen elrendezett krakkolócső csatlakozik, körülötte elrendezett előmelegít^ egységgel, és utóbbi alatt elrendezett krakkolótér-fűtőberendezéssel. A krakkolandó gázt vagy gőzt bevezető cső, továbbá a krakkolási gázmaradék elszívására szolgáló kivezető cső a krakkolócsőből ágazik ki. A hűtőtér a krakkolótér fűtőberendezése alatt csatlakozik a krakkolócsőhöz. A hűtőtérhez csatlakozó házban van elrendezve a kész rétegellenállásokat a hűtőtérből eltávolító egység, továbbá a kész rétegellenállások ellenállásértékét mérő egység. A házhoz terelőcsövek csatlakoznak, amelyekben csapok vannak el-5 rendezve. A terelőcsövekhez gyűjtőtartályok csatlakoznak, amelyeken vákuumszívó csonkok vannak elrendezve. A találmány szerinti berendezés egy előnyös kiviteli alakjának olyan elektronikus egysége 10 van, amely méri a kész rétegellenállások ellenállás-értékét, és a mért értékeknek megfelelő hibajel függvényében szabályozza a hordozótestek haladási sebességét, vagy a krakkolandó gáz adagolási sebességét. 15 A találmány szerinti berendezés előnyös kiviteli alakjait, valamint azok működését a rajz. kapcsán ismertetjük. Az 1. ábra egy a találmány szerinti, félig önműködő berendezés metszete, részben nézete. 20 A 2a. ábra az ellenállástesteknek a berendezésben való haladását szabályozó és az ellenállás-értékeket mérő egység metszete. A 2b. ábra a 2a. ábrán bemutatott egység csapágyállítási rajzának nézete, részben met-25 szete. A 3. ábra az ellenállásmérés és -szabályozás elvi vázlata. A 4. ábra a találmány szerinti berendezés önműködő változatának metszete, részben né-30 zete. Az 5. ábra a kerámiai hordozótestek adagoló egységének metszete. A 6. ábra a kerámiai hordozótesteket adagoló cső elzáró szelepének felülnézete, részben 35 metszete. A 6a. ábra a 6. ábra szerinti elzárószelep hosszmetszete. A 7. ábra az indukciós fűtésű krakkolótér metszete. 40 A 0. ábra a 2a. és 2b. ábrán bemutatott egység olyan változatának metszete, részben nézete, amelynek meghajtó motorja a vákuumtéren kívül van elrendezve. A 9. ábra a kész rétegellenállások adagolását 45 végző egység metszete. Az 1 tartályba a 2 fedél leemelése után ömlesztve helyezzük el a kerámiai hordozótesteket (továbbiakban: munkadarabok). Ezután a fedelet csavarokkal leszorítjuk, és a 3 csö-50 vön keresztül a tartályban levő levegőt vákuumszivattyúval eltávolítjuk. A kellő vákuum elérése után a 4 csapot megnyitjuk, majd üzembe helyezzük az 5 rendezőt; így a munkadarabok rendezve kerülnek a kvarcból készült 55 6 krakkolócsőbe. Az 1 tartály üzemeltetése közben a folyamatosság biztosítása végett a 7 tartályban helyezzük el a munkadarabokat, majd ezeket is vákuum alá helyezzük. 60 Az. 1 tartály kiürülése után a 4 csapot elzárjuk és megnyitjuk a 8 csapot. Így a munkadarabokat beengedjük a 6 krakkolócsőbe. Az 1 és 7 tartályok üzemeltetése, valamint töltése felváltva történik. A 6 krakkolócső a 9 csapon 65 keresztül tisztítható. 2