150672. lajstromszámú szabadalom • Berendezés vákuumtechnikai termékek alkatrészeinek 10-6 mmHg nyomásnál kisebb vákuumtérben előizzítással való felületi tisztítására és/vagy forrasztására
Megjelent: 1963. november 15. MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL 150.672 SZÁM Nemzetközi osztály: H 01 I MA—1052 ALAPSZÁM Magyar osztály: 21 g 1—18 SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY Berendezés vákuumtechnikai termékek alkatrészeinek 1(T6 mmHg nyomásnál kisebb vákuumtérben előizzítással való felületi tisztítására és/vagy forrasztására Magyar Adócsőgyár, Budapest Feltalálók: Dr. Koncz István mérnök, Millner József vegyészmérnök, mindketten budapesti lakosok " ••-""-• ' A bejelentés napja: 1961. augusztus 1. Vákuumtechnikai termékek egyes alkatrészeinek nagy vákuumtérben előizzítással történő felületi tisztítására és/vagy forrasztására berendezések már ismeretesek. Az ilyen eljárásra, azért van szükség, mert adó-vevőcsövek vagy félvezetők gyártásánál azokon az alkatrészeken, amelyek nagy kémiai affinitáséi fémekből állnak (például cirkonbevonatú elektroncső, rácsok, anódok és elektródák) a nagy kémiai affinitás következtében gázmolekulák kötődnek meg és ezek a szennyeződések károsan hatnak. Különösen fontos a fent jellemzett férnek felületének megtisztítása olyan esetekben, amikor fémes ömledék is jelen van. így pl. kerámia-fémek összeforraszlásánál a forrasszanyag nem nedvesíti a szennyezett fémfelülelet. Ilyen esetben a fémfelületek gázszennyeződése miatt, illetőleg ha a fémfelület tisztítása kis vákuumban történik és emiatt a fémfelületeken gázmolekulák maradnak, a forrasztás nehezen vagy egyáltalán nem jön létre, mert a környezettől felvett gázok lerontják az aktív anyagok nedvesítőképességét. A vákuumtechnikában a technika mai állásának megfelelően az adó- és vevőcsövek, valamint félvezetők alkatrészeinek vákuum-izzításos tisztítására önmagában ismert higany- vagy olaj diffúziós szivattyúkkal előállított vákuumot használják. Mint ismeretes, ezeknél a szivattyúknál a vákuum nagysága kedvező esetben 10"e 'mmHg értéket elérhet. Az olaj- vagy diffúziós szivattyúkkal elérhető l'0-6 mmHg érték a vevő- és adócsövek belső vákuumának előállítására megfelelő, mert a vákuum nagyságát a kész összeszerelt elektroncsöveknek a szivattyúról történt leválasztása után utólagos getterezéssel még tovább javítják. Vákuumtechnikai termékek alkatrészeinek eieizzífására 10-o mmHg a használatos érték, azonban ez a vákuum, érték csak. olyan alkatrészeknél elegendő, amelyek felületén nincs szennyező gázokra érzékeny bevonat és ahol az alkatrészeli: összeforrasztatlan állapotban vannak. A forrasztáshoz hsználafos ömledékek szennyezésének tisztítása l{T": 'mmHg nyomásnál nagyobb vákuumot igényel. Alábbiakban ismertetünk néhány 10 fc rnmHgnál magasabb vákuumérték előállítására használatos rendszert. Az egyik ilyen ismert rendszer Alpert-től származik. Ennek az a lényege, hogy a I0-G mmHfi vákuumteret szívással érik el, majd izzókatódból kilépő elektronokkal ionizálják a vákuumteret és a vákuumtérben még megmaradt gázmolekulákat az edény hideg falához kötik. Ennek a rendszernek az a hátránya, hogy az eljárás lassú, és bonyolult, ezért a sorozatgyártás technológiai folyamatba nehezen illeszthető. Műszakilag pedig azért hátrányos, mert az idővel felmelegedő falról a lekötött gázmolekulák felszabadulnak és ismét a vákuumtérbe kerülve lerontják a vákuumot. Egy másik ilyen ismert megoldás a ll 0 _6 mmíig értéknél jobb vákuum elérésére az iongetter szivattyú alkalmazása. Ennek az a lényege, hogy párolgó aktív anyagot ionizálnak és ezzel kötik meg a maradék gázokat. A rendszer bonyolult volta mellett még az is hátrányos, hogy az a leszívandó térben közvetlenül nem alkalmazható, mivel a párolgó anyag a térben levő minden anyagot bevon. Ez ellen úgy védekeznek, hogy a szivattyút vezetékkel csatlakoztatják a vákuumtérhez, de a korlátozott vezetékkeresztmetszet
