149649. lajstromszámú szabadalom • Kettős-plazmatron-ionforrás állandó mágnessel és a működés során optimálisra beállítható plazmasűrítéssel

149.649 3 Szabadalmi igénypontok: 1. Kettős-plazmatron-ionforrás permanens mágnessel és beállítható plazmasűrítéssel, azzal jellemezve, hogy radiális irányban felmágnesezett, előnyösein keramikus szigetelőanyagból készült permanens mágnese van, és a mágneskör változtatására a pólussarulencse inhomogén mágnesterének optimális beállíthatóságát biztosító, a permanens mágnes kívülről hozzáférhető radiális felületén mágneses mellékzárt képező tagok vagy axiális felületén mágneses soros zárat képező tagok vannak üzem köziben is eltolhatóan, illetőleg cserélhetően elrendezve. 2. Az 1. igénypont szerinti ionforrás kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a mágneses mellékzárak különböző keresztmetszetű ferromágneses anyagú szegmensekből állnak, amelyek a radiálisán' mágnesezett permanens mágnesre kívülről hozzáférhető . (bal) oldalán radiális irányban elállíthatóan vannak elhelyezve. 3. Az 1. igénypont szerinti ionforrás • kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy mágneses íőzára egy vagy több, eltolható illetőleg: cserélhető, a teljes mágneses mezőnek megfelelő keresztmetszetű ferromágneses gyűrűs tagból áll. 4. A 3. igénypont szerinti ionforrás kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a ferromágneses gyűrűs tagok vezetésére petíket tartalmazó spirális alakú hornya van és a ferromágneses gyűrűs tagok egy nem-ferromágineses gyűrűt tagot részben vagy egészen lefedik. 5. A 2. igénypont szerinti ionforrás kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy mellékzáras szabályozásnál az első pólussaruval (1) a tulajdonképpeni pólussarulencsét képező további pólussaru (4) a permanens mágnes radiális irányban kívülfekvő pólusának magasságáig van ferromágneses anyagban légmentesen vezetve. 6. Az 1—5. igénypontok bármelyike szerinti ion-forrás kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy egy vízhűtésre szolgáló betét van a mágnes pólussaru (1) belső pólussaru gyűrűjeként kiképezve. 7. Az 1—6. igénypontok bármelyike szerinti ion-forrás kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a permanens mágnessel, vagy csak jó vízhűtésű fémfelületek, vagy szigetelt kerámiafelületek, illetőleg kerámiarészek érintkeznek. 8. Az 1—7. igénypontok bármelyike szerinti ion-forrás kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a pólussarulencse mágneses körében csak a hatásos tulajdonképpeni lencselégrés van. 9. Az 1—8. igénypontok bármelyike szerinti ion-forrás kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy permanens mágnesét teljesen vagy részben egy szabályozható, előnyösen ugyancsak radiális elrendezésű elektromágnes helyettesíti. 10. Az 1—9. igénypontok bármelyike szerinti ion-forrás kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a kisülés sűrítésére többszörös permanens mágnesei és/vagy elektromágnesei és/vagy villamos terei vannak. 4 rajz A kiadásért felel; a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója Derv Nyomda, Bi: V., Balassi Balint utca 21-23.