148710. lajstromszámú szabadalom • Félvezető eszköz és eljárás annak előállítására
148.710 3 • dik azonos típusú és azonos anyagból van, míg a közöttük levő második réteg ellenkező típusú és eltérő anyagból van. 3. Az 1. igénypont szerinti félvezető eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy három félvezető rétegből áll és, hogy a második és harmadik félvezető réteg vegyileg azonos anyagból van, de ellenkező típusú. 4. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti félvezető eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az 1. igénypontban hivatkozott egyik félvezető réteget a következő fémek: alumínium, tantál, titán, cirkon, niob, hafnium, nikkel egyikén, vagy ezen fémek egymásközti, vagy más fémekkel való ötvözetén e fémekből és a periódusos rendszer nitrogén (Va), vagy oxigén (Via) csoportbeli egy vagy több eleméből képzett vegyület, különösen oxid, szulfid, szelenid, tellUrid, nitrid, foszfid, arzenid, antimonid rétege képezi. 5. Az 1—4. igénypontok bármelyike szerinti félvezető eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy további félvezető rétegei, vagy ezek közül egy vagy több réteg az alábbi félvezető anyagok egyikéből van: a) a periodikus rendszer IV oszlopának elemei, vagy ezek ötvözetei, célszerűen germánium és szilicium, b) a periodikus rendszer III és V oszlopába tartozó elemek félvezető vegyülete, c) a következő fémek legalább egyikének, a periodikus rendszer nitrogén (Va), vagy oxigén (Via) csoportbeli egy, vagy több elemmel képzett vegyülete, különösen oxidja, szulfidja, nitridje, szelenidje, tellüridja, foszfidja, arzenidje, antimonidja: ón, ólom, mangán, ezüst, titán, alumínium. 6. Eljárás az 1—5. igénypontok szerinti félvezető eszköz előállítására, azzal jellemezve, hogy alumínium, tantál, titán, cirkon, niob, hafnium és nikkel fémek, vagy ezek ötvözetei valamelyikének felületén, a periodikus rendszer nitrogén (Va), vagy oxigén (Via) csoportbeli elemével képzett vegyületből való réteget, különösen oxid, nitrid, szelenid, szulfid, tellürid, foszfid, arzenid, antimonid réteget alakítunk ki és e rétegre legalább egy további ellenkező típusú félvezető réteget viszünk fel, majd a félvezető eszközt hozzávezetásekkel látjuk el és önmagában ismert módon formáljuk. 7. A 6. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a kiindulási fémen a félvezető réteget elektrolitikus kezeléssel hozzuk létre. 8. A 6. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a kiindulási fémen a félvezető réteget a fémnek gázokkal történő reakciója révén hozzuk létre. 9. A 6—8. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a további félvezető rétegek legalább egyikét az előző rétegre történő felpárologtatással, és e réteg esetleges dópolásával hozzuk létre. 10. A 6—8. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a további félvezetőrétegek legalább egyikét úgy képezzük ki, hogy arra oly vegyületet viszünk rá, melyet pirolitikus bontással félvezető vegyületté alakíthatunk át. A kiadásért Telel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó Igazgatója. 612722. Terv Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21-23.