148381. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés nagytisztaságú szilícium előállítására

148.381 3 :Kező elemi szilíciumot ezen kisülés terén kívül a reakciós edény valamely hideg pontján felfogjuk. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az elbontandó szilícium vegyületeket oly elektromos gázkisülésen áramoltatjuk át, melynek hőmérséklete a hideg elektródák ellenére a szilícium olvadáspontja fölött van. 3. Az 1—2. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a kisülésen szilícium-halogén vegyületnek hidrogénnel való keverékét áramoltatjuk át. 4. Az 1., 2. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a kisülésen szilánnak nemesgázzal, előnyösen argonnal alkotott keverékét áramoltatjuk át. 5. Berendezés az 1—4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítására, amely egy oly edényből áll, amelyen egy a reakciós keverék beáramoltatására alkalmas nyílás, továbbá egy, a reakció során át nem alakult illetve keletkező gáznemű termékek kiáramoltatására alkalmas nyílás helyezkedik el, jellemezve a gázkisülés fenntartására alkalmas legalább két oly hideg felületű hűtött elektródával, amelyek a beáramoltató nyílás által képzett forgástest képzeletbeli meghosszabbított palástja mentén helyezkednek el, és előnyösen nagy C alakúak, jellemezve továbbá, a keletkező elemi szilícium felfogására alkalmas hideg nem-fém felülettel, végül az elektromos kisülés keltésére és fenntartására szolgáló további eszközökkel. 6. Az 5. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, jellemezve az elektromos kisülés megindítására és fenntartására alkalmas Tesla-szikraközzel. 7. Az 5., 6. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, jellemezve, az elektromos kisülés begyújtására és fenntartására alkalmas ultraibolya fényforrással. 8. Az 5—7. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, jellemezve, az elektromos kisülés befolyásolására alkalmas mágneses térrel. 9. Az 5—8. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, jellemezve, „C" alakú elektródákkal. 1 rajz A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 610826. Terv Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21-23,