145079. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés jól tapadó reflektáló rétegnek átlátszó aljzatra való felvitelére, katódporlasztással
Mégjelent: 1959. július 31. ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS 145.079. SZÁM 42. h. 26—37. OSZTÁLY — KI~360. ALAPSZÁM Eljárás és berendezés jól tapadó reflektáló rétegnek átlátszó aljzatra való felvitelére, katódporlasztással Kisfaludy P. István, kutató mérnök Budapest A bejelentés napja: 1957. szeptember 16. Nagyobb sugárzási igénybevételt jelentő helyeken az ipar már éveik óta reflexiós védőüvegeket használ a dolgozók szemének védelmére, mely védőüvegek üvegfelületre katódporlasztással felvitt, a kívánt vastagságú fémrétegbői állnak és melyek a sugárzó energiát visszaverés által tartják távol, miáltal a védőüvegek kevésbé melegszenek fel. E reflekciós védőüvegeken kívül ipari szempontból fontos más tárgyak, pl. félig-áteresztő tükrök ugyancsak katódpoirlasztással készülnek. A katódporlasztással készült reflexiós védőüvegek, reflexiós tükrök stb. hátránya azonban, hogy a porlasztott fémréteg nem tapad jól az üveg felületéhez. Ez okból a tükr,özőréteget két üveglemez közé kellett helyezni, vagy felületét védőréteggel kellett bevonni. A találmánnyal e hátrányok kiküszöbölését célozzuk és ezt oly reflektáló rétegek felvitelével érjük el, melyeik az eddigi fémrétegeknél erősebben tapadnak az üveghez és melyeknek nemcsak felülete egyenletesebb, hanem a mechanikai hatásokkal szembeni ellenállása is lényegesen nagyobb, mint az eddigi reflektáló rétegeké. Ez feleslegessé teszi a reflektáló rétegnek üvegleimezek közé helyezését vagy felületének védőréteggel való bevonását. A találmány eljárása vonatkozik az alátéthez, főleg üveghez jól tapadó reflektáló réteg felvitelére, katódporlasztás útján, mely eljárás lényege az, hogy az aljzat felületére a kívánt vastagságban oxidálható fémet, célszerűen Ni-t, Co-t porlasztunk . és a levált fémet porlasztás közben oxidáltatjuk. A felvitt réteg tehát lényegében a felvitt fémek oxidjaiból áll. A porlasztás közben oxidáció lehetővé • tételére kell, hogy a recipiensben oxigén legyen jelen, mely célból a recipiensben aránylag magas, 0,1—0,01 Hg mm közötti nyomást tartunk fenn. Az oxidációhoz szükséges oxigénmennyiséget többféleképpen biztosíthatjuk, mégpedig pl. adszorbens anyagnak, pl. szilikagélnek a recipiensben való elhelyezésével, melynek rendeltetése az, hogy a légköri nyomáson adszorbeált oxigénjét a vákuumtérben fokozatosan leadja. A másik mód a recipiens oly rossz tömítése, hogy a tömítetlenségeken behatoló levegő sebessége egyenlő legyen az elszívási sebességgel. Ez utóbbinak szabályozására a recipiens és a szivattyú közé fojtószelepet iktatunk. A mellékelt rajz az eljárás kivitelére szolgáló porlasztóberendezés példaképpeni kiviteli alakját szemlélteti. 1 a recipiens, 2 az abban elrendezett katód, melynek 3 szárát 4 tömítés veszi körül. 8 az anódként szolgáló aljzat, 5 az aljzaton elhelyezett asztal, melyen a bevonandó 6 tárgy foglal helyet. A 8 aljzatból 9 csővezeték ágazik el, mely a 11 légszivattyúba torkollik. A 9 vezetékben 10 fojtószelep van elrendezve. A 8 aljzaton nyugvó 7 csésze adszorbens, pl. szilikagél felvételére való. A 7 csészére csak akkor van szükség, ha a 10 fojtószelepet mellőzzük vagy üzemen kívül helyezzük. Az eljárás kivitelére szolgáló berendezés az 1 recipienst a 11 légszivattyúval összekötő 9 vezetékben elrendezett 10 fojtószelepbein különbözik az ismert katódporlasztó berendezésektől. A porlasztási áramsűrűség kellő megválasztásával a bevonandó tárgy, pl. üveglemez hőmérséklete az ionbornbázás hatására 250—350 C°-ig hevül fel. Ily üzemi feltételek mellett a felrakott réteg igen ellenálló és tartós lesz. Kis porlasztási áramsűrűség esetében, amikor a bevont tárgy hőmérséklete a 250 C°-ot nei m éri el, az arra rakódott fémoxidréteget utólagos hevítéssel foganatosított zsugorítással tartósíthatjuk. Részleteiben a találmány tárgya az igénypontok keretén belül sokféleképpen módosítható. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás jól tapadó reflektáló rétegnek átlátszó aljzatra való felvitelére, katódporlasztással, melyre jellemző, hogy az aljzat, főleg üveg felületére a kívánt vastagságban oxidálható fémet porlasztunk és a levált fémet porlasztás közben oxidáljuk. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás kiviteli módja, melyre jellemző, hogy az oxidálható fém nikkel vagy kobalt.
