144293. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető eszközök, különösen tranzisztorok kontaktustűinek előállítására
2 144.293 zeljük a palástmenti tűhegy előállítása céljából elektrolitikusan olyan elektrolitban, amely jelentős részben foszforsavból, vagy vízben oldható foszfátokból áll. Találmányunk értelmében a drótokat a tűhegy előállítása céljából 90°-nál kisebb, de 45°nál nagyobb szög alatt, előnyösen pl. 60°-os szögben helyezzük az elektrolitba. A találmányunk szerinti elektrolit pl. tiszta foszforsav lehet, amelynek koncentrációja kb. 60—80%, előnyösen azonban 65—70%. Használható azonban valamilyen vízoldható foszfátsóoldat, pl. kálium-, vagy nátriumdihidrofoszfát-oldat, amely a só mellett célszerűen lúgot is tartalmaz. Bizonyos esetekben előnyös az oldathoz kálium- vagy nátriumfluoridot, valamint esetleg káliumkromátot is adagolni, ámbár ez nem feltétlenül szükséges. A találmányt részletesebben az alábbi példák és rajzok kapcsán magyarázzuk. Az 1. ábra egy lecsípéssel előállított foszforbronztűt mutat be. Az ábrából, amely a tűt elöl- és oldalnézetben mutatja be,, jól látható, hogy a (4) drót (5)-tel jelölt helyei „sorjásak", tehát lényegében az egész lecsípett felület egyenetlen és így a tű kristályerősítőkhöz nem alkalmazható jó eredménnyel. Hasonlóképpen nem alkalmazható jó eredménnyel a 2. ábra szerinti tű sem, amely "y olyan wolframtűt mutat be, amely kálilúgos maratással készült. Az ábra a tűt elöl- és oldalnézetben mutatja be. Jól látható, hogy a (6) tű (7) marott felülete egyenetlen Ez az egyenetlenség, amint azt már korábban leírtuk, minden tűnél más és más, tehát a módszer, amellett, hogy a készített tűk jó eredménnyel nem is alkalmazhatók, még nem is reprodukálható megfelelő módon. A 3. ábra a találmányunk szerinti, egy pl. 60°-os szög alatt elektrolitikusan kezelt wolfram-, ill. molibdéntűt mutat be ugyancsak oldal- és elölnézetben. Az ábrából látható, hogy a (8) tű (9) metszete teljesen egyenletes. Elölnézetben nézve az ilyen tűk metszési felülete szabályos ellipszis alakú. Maga az elektrolitikus kezelés az alábbi példák szerint végezhető el, anélkül azonban, hogy a találmány ezekre lenne korlátozva. 1. Példa A kívánt hosszúságúra leszabott 0,13—0,15 milliméter vastag wolfram-, vagy molibdénhuzalt felületileg zsírtalanítjuk. Ez ismert módon szerves oldószerekkel végezhető. Az előállítási eljárás során a wolfram-, vagy molibdénhuzal felületén képződött oxidréteget, valamint a húzásnál keletkezett felületi egyenetlenségeket pl. elektrolitikus polírozással eltávolítjuk. Ez úgy történik, hogy a tűket pl. nikkeltartókra forrasztva pl. 20%-os KOH-oldatba mártjuk és velük szemben kb. 10—15 mm távolságban Pt elektródát elhelyezve a cellára 1—2 másodpercig 18—20 V váltakozó feszültséget kapcsolunk. A tiszta huzaldarabokat azután a találmányunk szerinti eljárásnak vetjük alá. A huzalokat kb. 60°-os dőléssel a találmányunk szerinti elektrolitba, tehát pl. 65—70%-os foszforsavoldatba mártjuk. Ellenelektródaként platinahuzalt használunk. A tűket az oldatba kb. 1—2 mm hosszúságban mártjuk be és azokat anódnak kapcsolva a cellára 110 V egyenfeszültséget adunk. A kezelést addig folytatjuk, amíg a kezdeti kb. 20—30 mA-os áram közel nullára esik. Ily módon olyan tűket kapunk, amelyeknél a kiképzett hegyek metszési felülete szabályos ellipszis alakú (3. ábra), tehát azok a kristályra való ráhelyezés esetén a kristállyal csupán egyetlen pontban érintkeznek. Célszerű az elektrolitikus kezelés után még egy utótisztítást is beiktatni, amely az elektrolitikus kezelés során képződött oxidréteget távolítja el. Ez a művelet megegyező lehet az előkezeléssel, tehát pl. KOH-s elektrolitban történhet. 2. Példa Az előkészítési műveletek, valamint az utókezelés azonos az 1. példában leírtakkal. A találmányunk szerinti elektrolitikus kezelés azonban úgy történik, hogy az előtisztított és nikkeltartókra felhegesztett drótokat egy olyan elektrolitba mártjuk, amelynek összetétele pl. a következő : 15—20% KH2 P0 4 , 10—15% KOH, maradék desztillált víz. A kezelés körülményei és időtartama az 1. példa szerintivel azonos. 3. Példa A kezelés azonos a 2. példa szerintivel, az elektrolit azonban a következő lehet: 17% NaH2 P0 4 , 15% NaOH, 5—10% KF, 0—1% K2 Cr0 4 . A találmányunk szerinti eljárás különös előnyei tehát a következők: a) lehetővé teszi a mechanikailag szilárdabb wolfram- és molibdéntűk alkalmazását kristályerősítőkhöz, b) a kiképzett tűk hegye a drót geometriai palástjának vonalába fog esni, ami lehetővé teszi igen kis tűtávolságok beállítását is, c) a tűhegyek előállítása reprodukálhatóan teljesen azonos méretekben végezhető, d) az eljárás lényegesen egyszerűbb az e célra használt mechanikai eljárásnál, e) az így előállított tűkkel biztosítható a kristályerősítők egyenletes minősége. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás félvezető eszközök, különösen kristályerősítők, ill. tranzisztorok kontaktustűinek előállítására, azzal jellemezve, hogy wolframvagy mqlibdéndrótokat 90°-nál kisebb, de 45°nál nagyobb szög alatt bemártva olyan elektrolitban kezelünk anódosan, amely elektrolit főkomponensként foszforsavat vagy vízoldható foszfátokat tartalmaz. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a wolfram-
