125848. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés katóda elporlasztására ködfénykisüléssel

125848. zelében a villamos erővonalakra merőlegesek.," Ennek folytán az elektronok eltérí« tődnek és ez esetben szintéin a katóda körül keringenek, ami az, elektronok által ö megtett utat erősen hosszabbítja. Az 5. és ti. ábrákon látható elektródaesoport a hengeres 8 anódából és a két ke• rek, az anóda nyitott végei közelében elrendezett, 9 és 10 lemez, pl. vaslemez által 10 alkotott katódából áll. A 8 hengert közös tengelyvonallal 11 mágnesesévé veszi körül, úgyhogy a mágneses erővonalak a ki< sülési térben az anóda tengelyvonalával párhuzamosak. 15 A 9 lemezből kiinduló elektronok az esetben, ha mágneses mezőt nem alkallmazunk, görbe pályákon haladnának a hengeres 8 anóda felé. A mágneses mező ha tása folytán azonban ezek az elektronok 20 a mágneses erővonalak körül többó-kevésbbé csavarvonalalakú pályákat írnak le, úgyhogy az elektronokat az anódától .távoltartjuk. Ha az elektronok a 10 katódalemez közelébe érnek, haladómozgá-25 suk lefékeződik és így az eletronok isimét a 9 lemez irányában visszaterelődnek. Az elektronok tehát a 9 és 10 katódalemezek között ide-odavándoiroilnak, míg végül is a 8 anóda felé távoznak. Az ekként hosszab 30 bított elektronul itt is az áram jelentékeny erősödését eredményezi. A 8 anódbenger hosszának nem kell mindenkor közelítően a 9 és 10 katódarészek közötti távolsággal egyenlőnek lennie, hanem annál 35 kisebb is lehet. Sőt, még gyűrűalakú huzalból álló anódáival is jó eredményeket értünk él. Az 5. ós 6. ábrán látható elektródaalakzat lényege, hogy a két katódarészt egy 40 mással az anóda által fel nem fogott erővonalnyaláb köti össze akként, hogy az elektronok, amelyek a mágneses mező befolyására hajlamosak arra, hogy a mágneses erővonalakat kövessék, a katódairé^ 45 szeli között ide-odamozognak. E kattódariészek esetleg mechanikailag is egy egységet alkothatnak. ,, Mint már kifejtettük, a mágneses mező ennél az elrendezésnél is a gyujtófeszült-50 ség csökkenését eredményezi. Egy bizonyos esetben az anóda átmérője 40, hossza pedig 60 mm volt és az anódával kb. azonos átmérőjű 9 és 10 lemezek egymástól való távolsága 70 mm4 tett ki. A mágnes-55 eséve áriamát akként választottuk, hogy az anóda tengelyvonalában a mágneses mezőérősség közel 300 Gauss volt. Az argonból álló gázatmoszféra 10 '* mm gáznyomása esetén a gyujtófeszültség a tárgyalt esetben közel 1000 Voltot tett ki, 60 míg mágneses mező nélkül ez a feszültség már az argontöltés 0.03 man nyomásánál is 1500 Volt-nak felelt meg. A kisülési áramerősséget ebben a berendezésben szintén úgy választottuk, '65 hogy a katódaianyag elporladjon. Az elporladt katódorészecskék a gázmolekulákkal lekötődnek ós ennek folytán a gáznyomást csökkentik. Ily módon a gáznyomást könnyen lehet 0.01 mikron alá csökkenteni. 70 Nines kizárva, hogy a gáz egy résziét nem az elporladt katódarészeeskók kötik le, hanem azokat iónok alakjában az, üvegfal veszi fel. Ha a katódporlasztást a gáznyomás csökkentéséire hasznosítjuk, előnyös, 75 ha a katódát zirkóniulmból készítjük, különösen, ha az edényben higany van jelen. Az ismertetett elrendezésieknél nemcsak a mágneses erővonalak lefolyását kell tekintetbe venni, hanem gondoskodni kell so arról is, hogy a mágneses mező eléggé erős legyen, mert e mező befolyása egyébként túlságosan kicsiny ahhoz, hogy az áram kellő erősödését eredményezze. A mágneses mező létesítésére némely eset- 85 hon permanens mágnest is alkalmazhatunk. Ha valamely tárgyra két különböző fém keverékét kívánjuk felvinni, két Vagy több, más-más * fémből készült katódát 90 Vagy olyan katódát alkalmazunk, mely különböző fé'mekből készült részekből áll. E célra sajátosan alkalmas pl. az 5. ós 6. ábrán látható kivitel, mert ez esetben a két 9 és 10 katódarészt különböző anya- 95 gokból készíthetjük. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás katóda elporlasztására 0.2 mmnél kisebb nyomású gázközegben előidézett ködfénykisüléssel, kiváltképen 100 tárgyaknak fémhártyával való bevonására vagy valamely gáz nyomásának csökkentésére, azzal jellemezve, hogy a kisülési pályát mágneses mező hatásának tesszük ki, mimellett az elektróda- 10& elrendezést, valamint az említett mágneses mező lefolyását és erősséglét akként választjuk, hogy az elektronok úthossza á mágnese® mező nélküli többszörösére növekszik és így a kisülési 110 áram többszörösen erősebbé válik, mint