125848. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés katóda elporlasztására ködfénykisüléssel

Megjelent 1941. évi január hó 15-én. MAGYAR KIRÁLYI SZABADALMI BÍRSÁG SZABADALMI LEIRAS 125848. SZÁM VII/íl. OSZTÁLY. — P. 8914. ALAPSZÁM. Eljárás és berendezés katóda elporlasztására ködfénykisüléssel. N. V. Philips' GloeiJampeiifabriekeii cég Eindhoven-ben (Németalföld). A bejelentés napja 1936. évi december hó 24. Németországi elsőbbsége 1935. évi december hó 28. A találmány eljárás katóda elporlasztá. sara 0.2 mm-nél kisebb nyomású gázközegben előidézett ködfónykisiüés&el. A gázr nyomást ós az áramsűrfiséget ezzel kap-5 csolatban tudvalevőleg úgy választják, hogy a katódára felcsapódó pozitív iónok a katóda anyagának elporladását eredményezik. Az említett katódporlasztá» használható 10 tárgyaknak fémhártyával Való bevonására. Ez esetben a bevonandó tárgyat a . . . katóda közelében rendezik el akként, hogy az elporladt katódarészecskék e tárgyon lerakódnak, A ^tárgyat gyakran az anódán 15 rendezik el. A katódporlasztás arra is hasznosítható, hogy valamely gáz nyomását zárit térben csökkentsük. Az elporladt katodreszecskek ez esetben a gázmolekulákat lekötik és 20 így a gáznyomás csökkenését eredményezik, i A találmány szerint a kisülési pályát mágneses mező hatásának tesszük ki ósi az elefctrodaelrendezést, továbbá a mágneses 25 mező lefolyását és intenzitását akként választjuk, hogy a kisülési áram többszörösére növekszik annak az áramnak, mely fellép abban az esetben, ha a mágneses mező hiányzik. A mágneses mező ugyanis 30 az elelktronoikat eltéríti abból a pályából, amelyet a mágneses mező alkalmazása nélkül követnének, amivel az a teljes út, amelyet az elektronok megtesznek, megnövekedik. Ennek folytán az elektronok J5 rá a gáz között több összeütközés adódik, mely eset akkor is bekövetkeznék, ha ')(>• mágneses mező alkalmazása nélkül a gáznyomást növelnők. A mágneses mező tehát a kisülés karakterisztikája tekintetében a gáznyomás látszólagos megnöveke- 40 (lését eredményezi. Mivel az elporladt katódarészecskék gyakran töltést nem is hordanak vagy pedig, ha töltésük van, aránylag nagy tömegük folytán e katódarészecskéket a mágneses mező csak ke- 45 vésse befolyásolja, ez a látszólagos nyomásnövekedés az elporladt részecskék tekintetében nem érvényesül. Ennek folytán a gáznyomás egészen kicsiny lehet és ennek ellenére felléphet elyasii áram, mely sokszorosan erősebb annál az áramnál, amely ennél a gáznyomásnál fellépne, ha mágneses mezőt nean alkalmaznánk, Az áramerősség legalább ötször nagyobb annál az áramnál, mely mágneses mező nélkül lép fel. A mágneses mezővel könnyen elérhető az áramerősség, oly megnövekedése, mely a tízszeresnél is nagyobb. Az áramerősség nagy értéke és az alacsony gáznyomás az elporladás folyamata szempontjából különösen alkalmas, mert ennek folytán az elporlás sebessége növekedik. Tárgyaknak elporladt anyaggal való bevonásával kapcsolatban még az a sajátos előny is adódik, hogy az anyag a bevonandó tárgyon finomabb alakban, azaz kisebb méretű részecskék alakjában csapódhat le. Az eleiktródaelrendezóst és a mágneses mezőt akként választjuk, hogy a kisülés végbemenetele során az elektronok megakadályozódnak abban, hogy az anódát H0 ti5-