125659. lajstromszámú szabadalom • Eljárás vákuumban való elgőzölögtetésre

2 1 25650. nyomású térben kell lennie, meri csekély gázmaradékok a drótot gyorsan szélroncsolják, így például vízgőz csekély nyomai wolframdrótol a legrövidebb idő alalL szél-5 roncsolnak. Viszont nem 1'üiölt kalóriák alkalmazása eselén a kálódat környező térben a nyomásnak nem szabad túlságosam, alacsonynak leninié, meri máskülönben hiányzanak a gáz kisüléséhez szükséges 10 ionok. Hasonló módon aljban a térben, amelyben az elgőzölöglelenriő anyag van., a vákuumul, természetesen úgy kell megválaszlani. .hogy az a jő elgőzölögtetés és a 15 kívánt minőségű réteg lecsapódásának megfelelő legyen. Túlságosan gyenge vákuumban rossz lecsapódási kapunk, igen jó vákuum viszont gazdaságtalan. 1 ízé.ii a találmány éiielimében az elek-20, tronforrásl más nyomású lérhen rendezzük el. mini az elgözölöglelendő anyagól. Izzó dról alkalmazása, eselén a k a lódal érben uralkodó nyomási, alacsonyabbra választjuk, mini amekkora a gőzlérben ural-25 kodó nyomás. Xem fűlötl kalóriák.'esetéhen a iivomásvis.zonv fordítóit kell. hogv legyen. A kél lér egymástól célszerűen oly fallal különílhelő el. amelyben szíík lyukalakú rekesz van. A kél lér közölli nvo-30 niáskfilüiihség leunlaiiása végett abba a térbe, amelyben a nag\obb nyomásnak kell; uralkodnia, állandóan levegői vezetünk, viszon! a kisebb nyomású terel szivallvúzással állandóan légtelenít jük. likkor a lyuk-85 alakú rekeszen ál légáraim létesül, melynek .nagyságáiul J'ügg a kél nyomás viszonya. Levegő jielyiil védögázl is alkalma/balunk, amely az elgözölöglelendő anyaggal, a gőzzel és a. lecsapol! rélegge! vegyületet; í0 nem alkot. Ilogy túlságosan nagy leszívandó légim' n n y i ségek n é 1 k ü I 11 a gy < >hb u y; in i.ásk ü -lön ínségei létesíthessünk, egymás mögött 10)1:1; lyukalakú rekeszt is al;ka!inazhalunk. 45 amelyek labirintlömílés mórijára halniik, vagyis a kél-kél szomszédos Ivukrekiesz közöl li 'terek men lén a nyomás az egyik munkakanira nyomásától a másik imiiikakami'a nyomásáig lépcsőiZelesen változik. A 50 lyuk re készek közül li terek szükség eselén szinlén vákuumszivallyúkhoz csallakozlalha'.ők. Hasonló módon, egyszerű .lyukrekesz alkalmazásakor ennek közelében a nagyobb nyomású lér számára külön leszivó-55 csonkol alkalmazhatunk, hogy a rekeszen átmenő lég'árámol lehetőleg alacsony érieken laiisuk. Hogy lehetőleg sok elektronsugara! vezethessünk ál a szűk hűkre készen, az e lebíró nl'orrás és a lyukrekesz közöli elektron- eo optikai lencséket alkalmazunk, amelyek a kai ódából kilépő valamennyi elektronsugara! a ryukrekesz felé törik. Körülbelül a lyukrekesz. síkjában van leb ál az elektronsugarak első képpontja. A .lyukrekesz 65 mögött szétterülő sugárzási második elektronoptikai lencserendszerrel gyűjtjük össze és az elgözölöglelendő testre eső, ismét öszs ze sz ű k ü lő su gá r ké vébe 11 y a tál tolj u k. .Mivel az lelgőizölöglelenriő testnek az a 70 része, amelyre a sugarak esnek, rendkívül kicsiny, csekély hőve^etőképességű testekéi a' .felvételne való edény vagy tégely néilkül, mini lömből, vagy más hasonlóan .alakítóit lestél közvetlenül vihetünk a sugár- 75 nyaláb útjába.. .Mivel az. elektronsugarak a testen ál gyorsan lyukat ömlesztenének, a lest helyzetéi időnként meg kell vállozlalni. Kvégböl az elgözölöglelendő lesiet hordozó alkatrészt mechanikus hajtással 80 ínozgalhaljuk vagv pedig az eleklronoplikai lencséket eltolhatjuk, illetőleg kilendíthetjük, úgyhogy az a pont, amelyben a sugarak az elgőíZölögielendő teste! érik, helyzetéi e lesieii vállozlalja. A kélfélie 85 mozgás kom hi ná Iható is, célszerűen úgy. hogy az elgözölöglelendő' lesiet forgásba hozzuk és a sugarak gyűjtőpontjai sugárirányban kívülről beleié vagy fordítva, eltoljuk, likkor az anyag elgőzölögletése ki-90 vüiről befelé, illetőleg belülről kifelé haladé) csigavonal mentén megy végbe. Az elek-Ironsiigarakal tisztán villamosan is vezérelhetjük, alkalmas villamos \ agy mágneses mezők önmagában ismert elrendezésével, 95 amelyeknek megváltoztatásával a sugár me ne lira nyál belől vásolh aljuk. Az 'elgőzölöglelenriő anyagot az elektronsugarak felcsapődási pontjához egyenletes sebességgel, lehetőség szerbit folytonosan, 100 vezeIlletjük. Megömleszlbefő anyagok, pél-. dául fémek eselén ekkor az ezen a helyen szükséges edényben, bizonyos mennyiségű megömleszlell anyag van, melynek súlya az utántöltés szabályozásához, felhaszuá!- 105 ható. Az ilyen berendezés például úgy dolgozhat, hogy a lúlságosan nehézzé váló edény vagy egy kapcsolót, vagy egy kiiklatöszeirkezielet működtél, amely az utántöltést mindaddig megszünteti, míg a meg- 110 ömlesztett, fém egy része eil nem gőzölgő)!!. Az ennek következtéiben könnyebbé váló edény a kapcsoló! vagy a mehanikus szerkezetet ellenlétes értelemben hozza működésbe; és az utántöltő hajtóművel isméi 115 bekapcsolja,. Az ábrákban az eljárás foganalosílására