121034. lajstromszámú szabadalom • Eljárás tárgyaknak katódporlasztással való bevonására

131034. 3 belseje katód, mely a beporzandó tárgyakat minden oldalról körülveszi. A 2. ábra ilyen készülék változatának függélyes metszete és részben oldalnézete. 5 A 3. és 4. ábrák különböző kapcsolási vázlatok. Az 1. ábrán (1) a katódporlasztó edény, mely a (2) fedéllel, (3) tömítés közbeiktatásával, vakuumtömítően zárható el. A 10 készülék egész belseje, tehát mind a fedél, mind pedig az edény, a porlasztandó (4) anyaggal van bevonva, mely tetszőleges Ifémlből, fémötvözetből vagy mietalloddból állhait. A fel nem tüntetett vakuumszi-15 vattyút az (5) csőtoldathoz kapcsoljuk, a (6) csőtoldaton át pedig közömbös, redukáló gázt, pl. hidrogént vagy nitrogént vezetünk be. Az edényt i(7) hűtőköpeny veszi körül, melybe a hűtőközeget, pl. vizet vagy 20 olajat ,ai (8) csőtoldaton át vezethetjük be. A hűtőközeget a '(9) csőtoldaton át vezetjük el. A (2) fedél, melyet az (1) edényen a csavaros (10) szorítókkal erősítünk meg, az edénnyel a levehető (11) vezeték közve-25 títésével hozható áramvezető összeköttetésbe. A negatív feszültséget a fedélen megerősített (12) áraurvezetőkábellel vezetjük be. A beporzandó (13) tárgyakat pl. a (14) 30 állványra függesztjük fel, melyet az áramátvezető (15) hüvelyen erősítünk meg, melyet a (16) kábel közvetítésével, pl. egy egyenáramú áramforrás negatív sarkával kötünk össze. A (15) rész körül szigetelő 35 és tömítőanyagból álló (17, 18, 19) gyűrűk vannak, ahol is a fémből való (20) árnyékoló hüvely van közbeiktatva, melynek üreges, hűthető (21) karimája a hűtőközegvezetékkel hűthető és az áttekinthető tőség kedvéért fel nem tüntetett csavarokkal szorítható a fedélre. A (23) kábellel pozitív feszültséget vezetünk ez árnyékoló burokhoz, melynek vége a pl. tányéralakú (24) anódot hordja. 45 Az edény (2) fedelének is van (25) hűtőköpenye, melybe a (26) csőtoldaton át vezetjük be a hűtőközeget és ezt a (27) csőtoldaton át vezetjük el. A 2. ábra szerinti megoldási alak az 50 előbbitől abban különbözik, hogy a katódporlasztó (28) edényt, mely belső oldalán a porlasztandó (29) fémbevonatot hordja, a (30) vakuumköpeny fogja körül, mely a (31) vákuumszivattyúval, a (32, 33) sze-55 lepeken át evakuálható. A vákuumvezeték továbbá a (35) szelepen, valamiint mozgatható, vakuumtömítő összekötővezetéken, pl. (36) tömlőn át az edény (37) fedelével közlekedik, melyet ugyancsak a porlasztandó fémlből álló (29) réteggel borítunk. 60 A kilengethető (38) szorítórészekkel a (37) fedelet, a (28) porlasztó edényt ós a (30) vakuumköpenyt (39) és (40) tömítések közbeiktatásával vakuumtömítően szorítjuk össze. A (41, 42) hűtőcsatornákkal a 65 tömítések hűtéséről gondoskodunk. A levehető, dugós (43) vezeték a. fedelet a vákuumedénnyel áramvezető összeköttetésbe hozza. A beporzandó (44) tárgy a (45) rudazaton függ, melyet az áramot átvezető 70 (46) hüvelyen erősítünk meg, mely pl. a pozitív feszültséget vezető (47) vezetékkel van összekötve. (48) és (49) két fómernyő, melyek közül a (48) ernyő az anód felé negatív feszültséget vezető (50) vezetékkel 75 van összekötve, a (49) ernyő pedig a (29) fedél negatív feszültségét vezeti, ahol is a negatív feszültséget az (51) kábelen át vezetjük be. A fedél az (52) gyűrűkkel megemelhető. (53) és (54) szigetelő és tömi- 80 tőgyűrűk (55)-tel a (48) ernyő vízhűtését jeleztük. A (46) áramvezető rész üreges és hűthető; itt a hűtőközeget az (56) vezetéken át vezetjük be és az (57) vezetéken át vezetjük el. A hűtés a szigetelő és tömítő- 85 anyagot elégés ellen védi. A fedéllel kapcsolatban is lehet, a szigetelés felfekvő felületénél, hűtőköpenyt alkalmazni. A 3. ábra pl. az 1. ábra szerinti berendezéshez alkalmas kapcsolási vázlat. A 90 nagyfeszültségű egyenáramú (58) áramforrás, pozitív sarkával, a (60) ellenálláson át az (59) anóddal, negatív sarkával pedig a (62) kapcsolón át a katódporlasztó (61) kamrával van összekötve. A bepor- 95 zandó (63) tárgyak az egyenáramú áramforrással párhuzamosan kapcsolt (65) ellenállás (64) esi'i szókon taktusával állanak összeköttetésben, (66) a vákuumszivattyú, mely a (67) szelepen át a porlasztó kamrá- 100 Val közlekedik; (71)-gyel példaképen hidirogénpalackot jelöltünk, mely a (68) szelepen át ugyancsak a porlasztó kamrával közlekedik. A 4. ábra szerinti kapcsolási vázlat a 105 3. ábra kapcsán leírt kapcsolási vázlattól abban különbözik, hogy a (63) tárgyak a pozitív feszültséget vezetik és a (60) ellenálláson át az (58) áramforrás pozitív sarkával vannak összekötve. 110 Az 5. ábra szerinti kapcsolási vázlat váltakozó áram alkalmazását szemlélteti, melyet a (69) hálózatból a nagyfeszültségű (70) transzformátoron át vezetünk be, melynek szekunder tekercse egyfelől a 115 katódporlasztó edény falával, miásfelől a