121029. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés vegyi reakciók foganatosítására

2 131039. pl. olyan lüktető egyenfeszültség alkalmazható, mely legnagyobb értékeit kb. akkor éri el, amikor a fűtőáram irányát változtatja. 6 Reakciórészt ve vőkül szervetlen és szerves vegyi anyagok, vagy keverékeik alkalmazhatók. A reakciótermékeket előnyösen a katódaporlasztótérhez csatlakozó hűtőben besűríthetjük. A be nem sűrített 10 reakciótermékeket gáztartályban gyiijthetjük össze és esetleg a reakciófolyamatba visszavezethetjük. Leválaszthatjuk természetesen a reakciótermékeket más fizikai vagy vegyi műveletekkel is. 15 A katódosan porlasztott fémet előnyösen villamosárammal átjárt tekercs útján, mely mágneses teret létesít és a reakcióövet körülveszi, foghatók és gyűjthetők össze. Ilv módon a fém tömény-20 ségét a reakciótérben fokozzuk. Porlasztandó f émekül vagy ötvözeteküi könnyűfémeken kívül előnyösen nehézfémek vagy nehézfémötvözetek, különösen magas olvadáspontnak alkalmazhatók, melyeket 25 különben nehezen lehet ilyen finom elosztásban előállítani. A találmány szerrinti eljárás különös előnye abban van, hogy a porlasztott katalizátorokat mindig folytonosan frissen állítjuk elő. 80 A. találmány szerinti eljárásnál alkalmazandó porlasztó feszültség, az áramerősség, a katódák hőmérséklete és a reakcióöv hőmérséklete, valamint a nyomáscsökkentés nagysága a reakciótérben 35 teljesen a vegyi reakciók természetéhez igazodik. Ily módon néhány 100 volttól 100.000 Voltig vagy azon túl terjedő porlasztófeszültségek alkalmazhatók. Kedvező munkakörzet a kb. 1000 és 40 10.000 Volt közötti feszültség. Az áramerősség a ráka pcsolt feszültséghez, továbbá a katóda és anóda nagyságához és egymástól való távolságához igazodik. Ily módon kis készülékekben 2000 Volt 45 feszültségnél már 1—50 milliampére árámerősség elegendő, míg nagyobb készülékekben erősebb áramokat alkalmazunk. Normális katódaporlasztásnál elő nem fűtött katódák alkalmazása ese-50 tén a katalizátor elporlása csak kb. 5 mm-tői 0,001 mm-ig terjedő nyomáskörzetben lehetséges. A katódák járulékos hevítése folytán az elporlás magasabb nyomásokon is végbemegy. Ez külö-55 nősen akkor előnyös, ha a vegyi reakciót a normális katódaporlasztásnak megfelelőnél nagyobb nyomáson akarjuk foganatosítani. A reakciórésztvevőket előnyösen a katódaporlasztás legnagyobb értékének körzetében, melynek helyzete 60 többek között a gázok természetétől, a hőmérséklettől és a nyomástól függ, kezelhetjük. A reakciótérhez csatlakoztatott vákuumszivattyú a reakciórésztvevők hozzávezetésének szabályozására 65 alkalmas berendezés útján gondoskodik arról, hogy ez a nyomás a reakciótérben fennmaradjon. A reakciótérben uralkodó nyomást emellett pl. a vákuumszivattyúval és a reakciórésztvevők hozzávezető 70 berendezésével összeköttetésben levő kontaktusfeszmérővel önműködően szabályozhatjuk. A találmány, továbbá az eljárás foganatosítására való olyan berendezés, mely- 75 nek részei: porlasztási feszültségforrásból táplált katódával és anódával ellátott katódaporlasztótér, valamint a reakciórésztvevők hozzávezetése és a reakció; résztvevők kivezetése, továbbá hozzá- 80 csatlakoztatott vákuumszivattyú. A berendezésnek előnyösen a reakciórésztvevők hozzávezetését célzó lyukgatott porlasztólemezzel ellátott átfúrt katód áj a és a reakciótermékek kivezetését célzó 85 lyukgatott anódalemczzel ellátott átfúrt anódája van. A reakciótermékek kivezetését célzó vezetékhez hűtő csatlakozik. A kondenzátumot gyüjtőtartály, a fáradtgázokat pedig gáztartály fogja fel. A 90 berendezésnek ezenfelül a reakciórésztvevők részére készlettartálya, nyomáscsökkentő szelepe és a készlettartályt a reakciótérrel összekötő vezetékben előhevítője,' illetőleg hűtője van. A beren- 95 dezés további részei a porlasztott fémek hevítését célzó nagyfrekvenciás fűtőtekercs, a hozzátartozó áramforrással és áramforrásból táplálta, a porlasztott katódaanvag irányítására, illetőleg össze- 100 fogására való gerjesztőtekercs. A berendezésben továbbá járulékosan ellenállással fűtött katódát hozzátartozó áramforrássalvagy járulékosan nagyfrekvenciás tekerccsel fűtött katódát nagyfrek" 105 venciájú áramforrással, vagy pedig fényívvel fűtött katódákat alkalmazunk. A mellékelt rajz a találmányt négy foganatosítási példa kapcsán közelebbről magyarázza éspedig az 110 1. ábra vegyi folyamatok foganatosítását célzó teljes telep vázlatos metszete, a 2. ábra ellenállásfűtésű katódával ellátott reakciótér metszete, a 3. ábra nagyfrekvenciás fűtéssel heví- 115 tett katóda metszete és a