203821. lajstromszámú szabadalom • Pozícionálóberendezés félvezetőelemek előállításához

(19) Országkód:

SZABADALMI

(11) Lajstromszám:

HU

LEÍRÁS

203 821 B

i

(21) A bejelentés száma: 5996/87

(22) A bejelentés napja: 1987.12.23.

(30) Elsőbbségi adatok:

WP H01L/300756 1987.03.13. DD

(51) Int CL5 H 01 L 21/68

MAGYAR

KÖZTÁRSASÁG

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

(40) A közzététel napja: 1989.09.28.

(45) A megadás meghirdetésének dátuma a Szabadalmi Közlönyben: 1991.09.30. SZKV 91/09

(72) Feltalálók:

(73) Szabadalmas:

Podeschwa, Horst, Drezda (DE) VEB Elektromat Dresden, Drezda (DE)

Gérard, Joachim, Drezda (DE)

Schöpe, Wolfgang, Drezda (DE)

(54) Pozfcionálóberendezés félvezetőelemek előállításához

(57) KIVONAT

A találmány tárgya pozicionálóberendezés félvezető elemek előállításához, különösen huzalkivezetések előállításához, amelynél a félvezető elemek pozicionálása egy x-y mozgatható tárgyasztalon (16) történik.

A találmány szerint a két hajtóegység egymással párhuzamosan helyezkedik el, és az egyes hajtóegységek egy-egy útmérő rendszerrel ellátott hajtómotorból (1,17) állnak, melyek egy-egy alaplemez (2,18) egyik oldalánál vannak felerősítve. Az alaplemezek (2, 18) egy hajtóorsóhoz egy csapágyazást (3,19) tartanak. A hajtóorsókra egy hajtóanya (6, 22) van felerősítve, mely elfordulás ellen biztosított. Az alaplemezhez (2) egy függőleges csapágyazás (8) van erősítve, mely két, egymáshoz képest 90’-kal elforgatott emelőkart fog fel, az egyik emelőkar az első hajtóanyával (6), a másik emelőkar az x-megvezetéssel van összekötve. A másik alaplemezre (18) egy függőleges csapágyazás (24) van felerősítve, mely egy kétkarú emeltyűt (25) tart, amelynek főkarja a hajtóanyával (22) van összekötve. A főkar és a második emelőkar (30) gördülőcsapágyakkal vannak ellátva, melyek egy a mozgatható tárgyasztalhoz (16) erősített vezetősínnel (29) kapcsolódnak.

A találmány szerinti pozicionálóberendezés segítségével a kisebb tömegek mozgatása révén növelhető a munkavégzés sebessége. A pozicionálóberendezést jól be lehet illeszteni a többi készülék közé (1. ábra).

A leírás terjedelme: 8 oldal (ezen belül 3 ábra)

HU 203 821