203695. lajstromszámú szabadalom • Berendezés minták csiszolására és/vagy polírozására
1 Hü 203 695 B 2 A találmány berendezés minták csiszolására és/vagy polírozására, amely elsősorban laboratóriumi vizsgálatokhoz szükséges szilárd minták (pl. félvezető szeletek, kerámia-, ásvány- és fémminták) felületének megmunkálására alkalmas. Ismeretes egy olyan mintapolírozó berendezés, amelynél a megmunkálandó minta ciklois mozgást végez a polírozó tálhoz képest. Ennél a készüléknél a polírozó tál és a polírozó mozgást előállító bolygómű egymás mellett vannak elrendezve. A mqzgást vízszintes helyzetű kar továbbítja a bolygóműtől a polírozó tálban elhelyezett csiszolandó mintához. A megmunkáláshoz szükséges terhelést, amely a mintát a polírozó tál aljához szorítja, egy, a mozgó kar és a készülékváz egy mozdulatlan pontja közé kifeszített rugó hozza létre. A mintát megfelelően kiképzett korong alsó felébe ágyazzák be. A vízszintes helyzetű kar függőlegesen lehajtott vége beleilleszkedik e korong fölső részébe fúrt függőleges zsákfuratba, így képes annak átadni a terhelést és a polírozó mozgást. A polírozó tál megmunkáló asztalhoz való rögzítését úgy oldották meg, hogy a polírozó tálat függőlegesen lefelé nyomva az annak alján kiképzett négyszögletes kiemelkedést (rugalmasan) be kell pattintani a megmunkáló asztal lapjába készített azonos alakú bemélyedésbe. A bolygómű és a polírozótál egymás mellett való elrendezése túlságosan nagy méretű készüléket eredményez. A vízszintes mozgatókart lefeszítő - terhelést létrehozó - rugó hossza a kar mozgása során állandóan ingadozik, ezért a terhelés nagysága sem állandó, ami rontja a megmunkálás minőségét. A polírozó tálnak az asztalhoz való rögzítése nehézkes, mert a négyzetalakú csatlakozó elemek összeillesztése nagyon pontos hely- és szögpozicionálást kíván, amit a kezelő nehezen teljesít, mivel a polírozó táltól a csatlakozó elemek nem láthatók. Ez különösen hátrányos, mert egyetlen minta megmunkálása során többszöri polírozó tál csere szükséges. Az említett rögzítési mód további hátránya, hogy csatlakoztatás után a csatlakozó nem fejt ki az asztallap irányába ható leszorító erőt a polírozó tálra, így az polírozás közben billeghet, ami rontja a polírozott felület minőségét. Ez a hátrány fokozódik, amikor a csatlakozó elemekmegkopnak a gyakori használatban, és kapcsolatuk laza lesz. A minta korongba ágyazása általában jól funkcionál, de mivel a korong együtt csiszolódik a mintával, gyakori korong cserére van szükség, és főleg kisméretű minták esetén a megmunkálási sebesség jóval alacsonyabb az indokoltnál, például a DE-OS 1798139 szerinti polírozónál. A találmány célja olyan megoldás biztosítása, amelynél a megmunkálás során a mintára ható terhelés a pálya bármely pontjában azonos, kalibrálható érték, továbbá a polírozó tál rögzítése könnyen, gyorsan, billegésmentesen megvalósul, ennélfogva a megmunkálás minősége javul, a kezelés egyszerűsödik. Ezen megoldás további kedvező hatása, hogy a készülék mérete jelentősen lecsökken. További cél elsősorban kisméretű minták megmunkálásánál olyan megfogás biztosítása, amelynél a minta rögzítése egyszerűsödik, a megmunkálás felgyorsul és a mintabefogó szerv kopása minimális, így többször felhasználható. A találmány szerint ezt úgy érjük el, hogy a meghajtó részt és a mintatartó-megmunkálószerv együttest a megmunkáló asztal két oldalán helyezzük el, a polírozó tálat új,módon rögzítjük, és a készüléket új mintatartóval egészítjük ki. A találmány tehát berendezés minták csiszolására és/vagy polírozására, amelynek a mintát befogó mintatartója, ezzel szemben elhelyezett csiszoló vagy megmunkáló szerve és ezeket egymáshoz képest periodikusan elmozdítható mozgatószerkezete van. A találmányt az jellemzi, hogy a mozgatószerkezet meghajtó része egy asztal egyik oldalán, a mintatartó és a megmunkálószerv pedig az asztal másik oldalán van elhelyezve, és a mozgatószerkezetnek az asztalban kiképzett kényszerpályában elcsúsztathatóan illeszkedő mozgásátadó karja van, amely egyrészt a meghajtó részhez, másrészt a minta tartóhoz van csatlakoztatva. A találmány szerinti elrendezéssel kisméretű, laboratóriumokban jól felhasználható és kis alapterületet elfoglaló berendezés készíthető. Előnye az is, hogy a mozgatás során a nyomóerő állandó és a működés zajtalan. A találmány egy előnyös kivitelénél a meghajtó rész bolygóművet tartalmaz, amelynek bolygómozgást végző mozgatócsapja az asztal egyik lapján felfekvő mozgásátadó elemben kiképzett csapágyhoz csatlakozik, amely mozgásátadó elem mereven kapcsolódik a mozgásátadó karhoz. A találmány szerinti berendezésnél vagy a megmunkálószerv vagy a mintatartó rögzítve van a megmunkáló asztalhoz, a másikat pedig a megmunkáló asztalhoz képest a mozgásátadó kar mozgatja. Minták polírozásához előnyös az olyan kialakítás, ahol a megmunkálószerv az asztalhoz van rögzítve, és a mintatartó a mozgásátadó karhoz, az asztalhoz képest állítható, rugalmas szorítást biztosító tartószerv közbeiktatásával van csatlakoztatva. Előnyös a polírozó tálat az asztalhoz összevezetéssel ellátott, bajonettzárral rögzíteni. Ez billegésmentes rögzítést és gyors polírozótál cserét tesz lehetővé. Gyors mintacserét és a polírozási művelet terhelési paramétereinek egyszerű beállítását teszi lehetővé az olyan kialakítás, amelyben a tartószerv a mozgásátadó karhoz állíthatóan rögzített hüvelyt, valamint ebben ugyancsak állíthatóan és rugalmasan elhelyezett nyomórudat tartalmaz, amely nyomórúd végéhez csatlakozik a mintatartó. A találmány szerinti berendezés bolygóművét meghajtó motor hajtja meg, amely meghajtómotor, sebességszabályozó áramkört és a sebességszabályozó áramkörműködését engedélyező és leállító start/stop nyomógombot tartalmazó vezérlő elektronikával van ellátva. így a berendezés egyetlen gombnyomással el5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 2
