203595. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés vékony huzalok átmérőjének érintésnélküli meghatározására

1

HU 203 595 B

2

(8) van kiképezve, vagy másik hengeres lencsével (8) van kombinálva.

11. Az 5. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy

detektorelrendezés az el nem hajlott fénysugarakat 6 kirekesztő blendét (6) tartalmaz.

12. A11. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a blendét (6) az optoelektronikus fokozat hatékony vevőfelületéneklehatárolása alkotja.

13. Az 5. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a kiértékelő egységben a detektorelrendezés által érzékelt diffrakciós kép (5) helykoordinátákra vonatkozó nonlinearitásait korrigáló címtranszformáló fokozat (14)van beépítve.

14. Az 5. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy az optikai elem a detektorelrendezés részét képező, abban a diffrakciós képhez (5) képest rögzítetten elrendezett eltűnőszűrő (10).

6