203595. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés vékony huzalok átmérőjének érintésnélküli meghatározására

(19) Országkód:

SZABADALMI

(11) Lajstromszám:

HU

LEÍRÁS

203 595 B

É

(21) A bejelentés száma: 4175/86

(22) A bejelentés napja: 1986.10.03.

(30) Elsőbbségi adatok:

WP G01B/281573 1985.10.09. DD

(51) Int a5 G 01 B 11/08

MAGYAR

KÖZTÁRSASÁG

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

(72) Feltalálók:

(73) Szabadalmas:

Griinther, Klaus, Berlin (DE) NARVA Berliner Glühlampenwerk GmbH.,

Kloss, Hans-Georg, Hohen-Neuendorf (DE) Berlin (DE)

Lüdge, Wolfgang, Schulzendorf (DE)

(54) Eljárás és berendezés vékony huzalok átmérőjének érintésnélküli

meghatározására

(57) KIVONAT

A találmány tárgya vékony huzalok átmérőjének érintésnélküli meghatározására vonatkozó eljárás, amelynek során vékony huzalok, szálak, folyadéksugarak és hasonlók átmérőjét, továbbá kis furatok átmérőjét, valamint rés szélességét határozzuk meg & Fraunhofer-féle elhajlási jelenség alkalmazásával úgy, hogy a mérendő tárgyat (4) páhuzamos, monokromatikus és koherens fénysugárral világítjuk meg. A találmány tárgya továbbá a fenti eljárást megvalósító berendezés is, amely fényforrást tartalmazó megvilágítási elrendezést, a diffrakciós kép (5) helyi intenzitáslefolyását érzékelő detektorelrendezést, analóg-digitális átalakítót (11), digitális adattárolót (12) és Fourier-analizátort (13) magában foglaló elektronikus kiértékelőegységet tartalmaz.

Eljárásunk során a mérendő tárgy (4) által keltett diffrakciós kép (5) legalább egyik felének teljes helyi intenzitáslefolyását az el nem hajlott fénysugár levágásával hézagtalanul érzékeljük, majd digitalizáljuk és digitális alakban eltároljuk, majd az így képzett adatmezőből Fourier-transzformációval a diffrakciós kép (5) helyi frekvenciáját (v) meghatározzuk és

abból a mérendő tárgy (4) átmérőjét (b), illetve szélességét a

b-X*f *v

összefüggés alapján meghatározzuk, ahol b a mérendő tárgy (4) átmérőjét;

X. a fénysugár hullámhosszát; f a diffrakciós kép (5) leképzésénél használt fókusztávolságot, és v a helyi frekvenciát jelenti.

A továbbfejlesztett berendezésben a megvilágítási elrendezés párhuzamos, monokromatikus és koherens fénysugarat előállító He-Ne lézer (1) fényforrásból áll, megvilágítási elrendezése a lézer (1) fénynyalábját feltágító, párhuzamosító és homogenizáló na- OŰ gyitó- és szűrőelemeket (2) tartalmaz, amelyek egyazon optikai tengely mentén elrendezett két domború |ß lencséből (7), valamint a két domború lencse (7) közös Q) gyújtósíkjában elrendezett diafragmából állnak, és a detektorelrendezés a diffrakciós kép (5) helyi intenzitáslefolyását szimultán érzékelő optoelektronikus CO egységet tartalmaz, (l.ábra) O

CM

! “r- — D

1. ábra ^m

A leírás terjedelme: 6 oldal (1 ábra)

17