203585. lajstromszámú szabadalom • Eljárás hordozóra történő, lézerrel aktivált kémiai gőzfázisú leválasztásra
(19) Országkód: HU SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY (22) Bejelentés napja: 1989.08.07. (21) 3978/89 (11) Lajstromszám: 203 585 B (51) Int Cl5 C 23 C16/48 H OIL 21/365 MAGYAR KÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL (41) (42) Közzététel napja: 1991.02.28. (45) Megadás meghirdetésének dátuma a Szabadalmi Közlönyben: 1991.04.28. SZKV 91/04. (72) (73) Feltalálók és szabadalmasok: Farkas János, Hámori András, Szabó Zsolt, Budapest (HU) (54) ELJÁRÁS HORDOZÓRA TÖRTÉNŐ LÉZERREL AKTIVÁLT KÉMIAI GŐZFÁZISÚ LEVÁLASZTÁSRA (57) KIVONAT Az eljárás során a hordozót a leválasztandó anyagot gáz fázisában tartalmazó közegbe helyezzük, majd lézerrel megvilágít juk. A megvilágítás során a lézernyalábot előnyösen fókuszáljuk és ezután fokozatosan mozgatjuk a hordozót és/vagy a lézernyalábot. A leválasztandó anyagot gáz fázisában tartalmazó közegből a leváló rétegen keresztül haladó és/vagy arról visszaverődő fényintenzitást és a beeső fényintenzitást mérjük és ezek arányából képzett jelet egy a kívánt rétegvastagságára, és/vagy a réteg szélességére jellemző referenciajellel összehasonlítva egy hibajelet állítunk elő, mellyel a lézer fényintenzitását és/vagy a mozgás sebességét folyamatosan szabályozzuk. A leírás terjedelme: 3 oldal, ábra nélkül HU 203 585 B
