203154. lajstromszámú szabadalom • Alumínium-alumíniumötvözet alapú nedvességmérő érzékelő szonda és eljárás annak előállítására
1 HU 203 154 B 2 Kilétéin a furatok környezetében kontaktáló fémbevonat van, és a fémbevonathoz a furat(ok)ba erősített kötőelemekkel, (mint csavar, szögecs,) fonfülek, s a forrfülekhez elektromos hozzávezetések vannak rögzítve. A találmányi szonda egy további előnyös kiviteli alakja azzal jellemezhető, hogy a fémréteggel fedett felületrészen található furatba kötőelemmel forrful és laprugó van erősítve, mely forrfülhőz elektromos hozzávezetés van kötve, és a laprugóhoz fémszivacs (vagy fémszálgomolyag) van erősítve, melyet a laprugó rugalmas ereje a fémrétegre szorít. Felismeréseink alapján találmányi megoldásunk továbbá eljárás alumínium-alumíniumötvözet alapú nedvességmérő érzékelő szonda előállítására olymódon, hogy az alapanyagot méretre vágjuk, mechanikai csiszolással és/vagy mosással és/vagy zsírtalanítással előkészítjük, elektrokémiai oxidáció útján a felületét oxidáljuk, majd fémréteget viszünk fel, s a kivezetések rögzítéséhez a bázisfémet és a fémréteget kontaktusokkal látjuk el, és azzal jellemezhető, hogy az oxidréteg kialakítása előtt a szonda felszínén elektrokémiai polírozást végzünk; az oxidréteg felvitelét két vagy több lépésben végezzük, nevezetesen tömör oxidréteg, majd ezt követően pórózus oxidréteg kialakítása útján; továbbá az oxidréteg kialakítása után vákuumban hőstabililzálást alkalmazunk, majd a fémréteg felviteléig lehetőség szerint vákuumra leszívatott, zárt térben szárítószer felett tároljuk. A találmányunk szerinti eljárás előnyösen azzal jellemezhető, hogy a méretrevágást a bázisfém fémszerkezetének alakmegőrzésével, nevezetesen a teljes vágási vonalon egyszerre, azonos vágási sebességgel végezzük. Eljárásunk előnyösen azzal is jellemezhető, hogy a bázisfém lapfelületein a mechanikai csiszolást kristálytani polírozási igényességgel, nevezetesen síkkorongos polírozással, a bázisfém lapfelületeinek síkpárhuzamosságát biztosítva végezzük. Találmányi eljárásunk előnyösen még azzal jellemezhető, hogy a kontaktáláshoz a szondán furatkokat alakítunk ki a méretrevágás után, de célszerűen a mechanikai polírozást megelőzően. Az eljárásunk előnyösen még azzal is jellemezhető, hogy az elektrokémiai polírozást savas közegben, célszerűen kénsav és foszforsav elegyében 30 “C feletti, célszerűen 45-70 °C hőmérsékleten végezük. A találmányunk szerinti eljárás egy előnyös foganatosítását azzal jellemezhetjük, hogy a tömör-oxidréteg felvitelét szobahőmérsékleten, gyengén savas-, célszerűen bórsavas és/vagy kloridmentes nátronlúgos közegben végezzük záróréteg típusú oxidfilm kialakulásáig. Eljárásunk továbbá előnyösen azzal is jellemezhető, hogy a porózus-oxidréteg kialakítását savas közegben, célszerűen krómsavas vagy oxálsavas vagy kénsavas vagy ezek tetszőleges arányú elegyéből képzett oldatban végezzük. Ugyancsak eljárásunk egy előnyös foganatosítása azzal is jellemezhető, hogy a porózus-oxidréteg kialakítását krómsav és/vagy oxálsav alkalmazásával 20'C- nál magasabb, célszerűen 30-35 ”C-on végezzük. Eljárásunk egy másik előnyös faganatosítása azzal jellemezhető, hogy a porózus-oxidréteg kialakítását kénsav alkalmazásával 5 °C alatti, célszerűen 2,5- 3,5'C-on végezzük. Még egy további előnyös foganatosítása eljárásunknak azzal jellemezhető, hogy a porózus-oxidréteg kialakítását krómsav és/vagy oxálsav oldatban 20 6C feletti hőmérsékleten kezdjük, majd kénsavoldatban 5 'C alatti hőmérsékleten folytatva végezzük el. Találmányi eljárásunk előnyösen még azzal jellemezhető, hogy a porózus-oxidréteg kialakíatását a maximálisan reprodukálható oxidréteg kialakulásáig folytatjuk, azaz addig, amíg a porózus- oxidréteg keletkezésének és oldódásának folyamatai között dinamikus egyensúly ki nem alakul. Találmányi eljárásunk egy előnyös foganatosítása azzal is jellemezhető, hogy az oxidréteg kialakításakor a bázisfémet csak részben, célszerűen legfeljebb négyötöd részében merítjük az oxidáló elektrolitbe, biztosítva, hogy a bázisfém lapfelületeinek egyik része és/vagy egyik furatának környezete oxidmentes maradjon. Eljárásunk további előnyös foganatosítása azzal jellemezhető, hogy a vákuumban történő hőstabilizálást 400 °C alatt, célszerűen 120-180 °C-on, vákuum szárítószekrényben végezzük. Eljárásunknak még egy további előnyös foganatosítása azzal jellemezhető, hogy a fémréteget arany vagy ezüst vagy réz vagy ezek bármekyikének ún. tapadófémekkel, mint Ti, Ni, Cr, képzett réteges kombinációja alkalmazásával - vízmolekulák szempontjából az oxidpórusoknál még átjárható vastagságú rétegben - vákuum- párologtatással visszük fel. Eljárásunknak ugyancsak egy előnyös foganatosítása azzal jellemezhető, hogy a fémréteget az elektrokémiailag kialakított oxidrétegre visszük fel. Eljárásunknak szintén egy előnyös foganatosítása még azzal jellemezhető, hogy - a kontaktálás megkönnyítésére - a nem oxidált bázisfémfelületre vagy a bázisfém oxidréteggel nem borított furatának környezetére direkt rágőzölögtetéssel és/vagy elektrokémiai vagy kémiai rétegvastagítással fémbevonatot, célszerűen aranyat vagy ezüstöt vagy rezet vagy ezek bármely réteges kombinációját visszük fel. A találmányi eljárás előnyös foganatosítása továbbá azzal jellemezhető, hogy a kontaktálást a bázisfém fémréteggel borított részén kialakított furat környezetében a a fémréteg helyi fémrágőzölögtetéssel történő vastagításával, vagy elektrokémiai rétegvastagításával, vagy e kettő kombinációjával, vagy helyi fémrágőzölögtetés és arany vagy ezüst vagy réz vagy ezek bármely réteges kombinációja direkt rágőzölögtetés együttes alkalmazásával végezzük. Előnyös foganatosítása eljárásunknak továbbá, mely azzal jellemezhető, hogy a fémréteget meghatározott mintázat (rajzolat) kialakítását biztosító maszk segítségével visszük fel. Találmányi eljárásunk maszkot alkalmazó előnyös foganatosítása még azzal jellemezhető, hogy a fémréteg maszkos felvitelét és a bázisfémet kontaktálű fém-5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 3