203154. lajstromszámú szabadalom • Alumínium-alumíniumötvözet alapú nedvességmérő érzékelő szonda és eljárás annak előállítására

1 HU 203 154 B 2 Kilétéin a furatok környezetében kontaktáló fémbevo­nat van, és a fémbevonathoz a furat(ok)ba erősített kö­tőelemekkel, (mint csavar, szögecs,) fonfülek, s a forr­­fülekhez elektromos hozzávezetések vannak rögzítve. A találmányi szonda egy további előnyös kiviteli alak­ja azzal jellemezhető, hogy a fémréteggel fedett fel­ületrészen található furatba kötőelemmel forrful és lap­rugó van erősítve, mely forrfülhőz elektromos hozzá­­vezetés van kötve, és a laprugóhoz fémszivacs (vagy fémszálgomolyag) van erősítve, melyet a laprugó ru­galmas ereje a fémrétegre szorít. Felismeréseink alapján találmányi megoldásunk to­vábbá eljárás alumínium-alumíniumötvözet alapú ned­vességmérő érzékelő szonda előállítására olymódon, hogy az alapanyagot méretre vágjuk, mechanikai csi­szolással és/vagy mosással és/vagy zsírtalanítással el­őkészítjük, elektrokémiai oxidáció útján a felületét oxidáljuk, majd fémréteget viszünk fel, s a kivezetések rögzítéséhez a bázisfémet és a fémréteget kontaktu­sokkal látjuk el, és azzal jellemezhető, hogy az oxid­­réteg kialakítása előtt a szonda felszínén elektrokémiai polírozást végzünk; az oxidréteg felvitelét két vagy több lépésben végezzük, nevezetesen tömör oxidréteg, majd ezt követően pórózus oxidréteg kialakítása útján; továbbá az oxidréteg kialakítása után vákuumban hős­­tabililzálást alkalmazunk, majd a fémréteg felviteléig lehetőség szerint vákuumra leszívatott, zárt térben szá­rítószer felett tároljuk. A találmányunk szerinti eljárás előnyösen azzal jel­lemezhető, hogy a méretrevágást a bázisfém fémszer­kezetének alakmegőrzésével, nevezetesen a teljes vá­gási vonalon egyszerre, azonos vágási sebességgel vé­gezzük. Eljárásunk előnyösen azzal is jellemezhető, hogy a bázisfém lapfelületein a mechanikai csiszolást kris­tálytani polírozási igényességgel, nevezetesen síkko­rongos polírozással, a bázisfém lapfelületeinek síkpár­huzamosságát biztosítva végezzük. Találmányi eljárásunk előnyösen még azzal jelle­mezhető, hogy a kontaktáláshoz a szondán furatkokat alakítunk ki a méretrevágás után, de célszerűen a me­chanikai polírozást megelőzően. Az eljárásunk előnyösen még azzal is jellemezhető, hogy az elektrokémiai polírozást savas közegben, cél­szerűen kénsav és foszforsav elegyében 30 “C feletti, célszerűen 45-70 °C hőmérsékleten végezük. A találmányunk szerinti eljárás egy előnyös fogana­tosítását azzal jellemezhetjük, hogy a tömör-oxidréteg felvitelét szobahőmérsékleten, gyengén savas-, célsze­rűen bórsavas és/vagy kloridmentes nátronlúgos közeg­ben végezzük záróréteg típusú oxidfilm kialakulásáig. Eljárásunk továbbá előnyösen azzal is jellemezhető, hogy a porózus-oxidréteg kialakítását savas közegben, célszerűen krómsavas vagy oxálsavas vagy kénsavas vagy ezek tetszőleges arányú elegyéből képzett oldat­ban végezzük. Ugyancsak eljárásunk egy előnyös foganatosítása azzal is jellemezhető, hogy a porózus-oxidréteg kiala­kítását krómsav és/vagy oxálsav alkalmazásával 20'C- nál magasabb, célszerűen 30-35 ”C-on végezzük. Eljárásunk egy másik előnyös faganatosítása azzal jellemezhető, hogy a porózus-oxidréteg kialakítását kénsav alkalmazásával 5 °C alatti, célszerűen 2,5- 3,5'C-on végezzük. Még egy további előnyös foganatosítása eljárásunk­nak azzal jellemezhető, hogy a porózus-oxidréteg ki­alakítását krómsav és/vagy oxálsav oldatban 20 6C fe­letti hőmérsékleten kezdjük, majd kénsavoldatban 5 'C alatti hőmérsékleten folytatva végezzük el. Találmányi eljárásunk előnyösen még azzal jelle­mezhető, hogy a porózus-oxidréteg kialakíatását a ma­ximálisan reprodukálható oxidréteg kialakulásáig foly­tatjuk, azaz addig, amíg a porózus- oxidréteg keletke­zésének és oldódásának folyamatai között dinamikus egyensúly ki nem alakul. Találmányi eljárásunk egy előnyös foganatosítása azzal is jellemezhető, hogy az oxidréteg kialakításakor a bázisfémet csak részben, célszerűen legfeljebb négy­ötöd részében merítjük az oxidáló elektrolitbe, bizto­sítva, hogy a bázisfém lapfelületeinek egyik része és/vagy egyik furatának környezete oxidmentes ma­radjon. Eljárásunk további előnyös foganatosítása azzal jel­lemezhető, hogy a vákuumban történő hőstabilizálást 400 °C alatt, célszerűen 120-180 °C-on, vákuum szá­rítószekrényben végezzük. Eljárásunknak még egy további előnyös foganato­sítása azzal jellemezhető, hogy a fémréteget arany vagy ezüst vagy réz vagy ezek bármekyikének ún. ta­padófémekkel, mint Ti, Ni, Cr, képzett réteges kom­binációja alkalmazásával - vízmolekulák szempontjá­ból az oxidpórusoknál még átjárható vastagságú réteg­ben - vákuum- párologtatással visszük fel. Eljárásunknak ugyancsak egy előnyös foganatosítása azzal jellemezhető, hogy a fémréteget az elektroké­­miailag kialakított oxidrétegre visszük fel. Eljárásunknak szintén egy előnyös foganatosítása még azzal jellemezhető, hogy - a kontaktálás meg­könnyítésére - a nem oxidált bázisfémfelületre vagy a bázisfém oxidréteggel nem borított furatának kör­nyezetére direkt rágőzölögtetéssel és/vagy elektroké­miai vagy kémiai rétegvastagítással fémbevonatot, cél­szerűen aranyat vagy ezüstöt vagy rezet vagy ezek bár­mely réteges kombinációját visszük fel. A találmányi eljárás előnyös foganatosítása továbbá azzal jellemez­hető, hogy a kontaktálást a bázisfém fémréteggel bo­rított részén kialakított furat környezetében a a fémré­teg helyi fémrágőzölögtetéssel történő vastagításával, vagy elektrokémiai rétegvastagításával, vagy e kettő kombinációjával, vagy helyi fémrágőzölögtetés és arany vagy ezüst vagy réz vagy ezek bármely réteges kombinációja direkt rágőzölögtetés együttes alkalma­zásával végezzük. Előnyös foganatosítása eljárásunknak továbbá, mely azzal jellemezhető, hogy a fémréteget meghatározott mintázat (rajzolat) kialakítását biztosító maszk segít­ségével visszük fel. Találmányi eljárásunk maszkot alkalmazó előnyös foganatosítása még azzal jellemezhető, hogy a fémré­teg maszkos felvitelét és a bázisfémet kontaktálű fém-5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 3

Next

/
Thumbnails
Contents