202987. lajstromszámú szabadalom • Fázisinformáció leképzésén alapuló fényoptikai eljárás és berendezés anyagi minőség vizsgálatára
7 HU 202987 B 8 osztó van elrendezve, a további D optikai lencse pedig az eltérített fénysugérnyaléb tengelyében van elhelyezve. A 2.c. ábra további lehetséges megoldása szerint a B, D optikai lencsék közős G lencse részeit alkotják. A közös G lencse optikai tengelye merőleges a C vizsgált anyag felületére, a közös G lencsében a B, D optikai lencsék az optikai tengelyre szimmetrikusan vannak elhelyezve. Ebben az esetben az egyik B optikai lencsén átmenő fénysugárnyaláb a C vizsgált anyagról, vagy az anyagból a további D optikai lencsére verődik vissza. A 2.a., 2.b., 2.c. ábrákon az egyszerűség kedvéért csak az E fénydetektorsort tüntettük fel, a berendezés további ismert részegységeit már nem. Ezeken az ábrákon ismertetett reflexiós üzemmódú berendezések esetén is a további D optikai lencse a már korábban leírtak szerint képezhető ki. A hőhullámok amplitúdója függ az anyagi paraméterektől, úgy, mint a vizsgálandó anyag hókapacitásától, és hővezető képességétől. Ez utóbbi érzékeny felület alatti jellegzetességekre, például felület alatti réteghatárra, vagy például felület alatti repedésekre is. így a hőhullámok okozta optikái úthosszváltozásból a felület, illetve felületi réteg által fedett tartományok tulajdonságaira lehet következtetni. A C vizsgált anyag szkennelésével felépíthető a hóhullámos kép, amiben jól láthatók a réteghatárok, doppolási tartományok, vagy például a felület alatti repedések is. Az a mélység, amelyből a hőhullámos módszer még információt hoz, változtatható a modulációs frekvencia változtatásával. Erre a hőhullámhossz és a modulációs frekvencia közti összefüggés ad lehetőséget, nevezetesen a hóhullámhossz a modulációs frekvencia növelésével csökkenthető. A találmány szerinti megoldás vonal alakú A fénysugárforrással, tehát adott vonalra is fókuszálható, igy a vonal mentén elhelyezett E fénydetektorsor segítségével vonalmenti képpontok párhuzamos és igy lényegesen gyorsabb kiértékelését teszi lehetővé. 5 10 15 20 6
