201985. lajstromszámú szabadalom • Molekuláris vákuumszivattyú
HU 201985 B körbefutó barázdáinak felülete között. Ez a labirinttömítés csökkenti a gázeloszlás visszáramát. A visszaáramlás csökkenését okozza az is, hogy a lapátlemez lapátjai arra az oldalra dőlnek, amely az állórész hornyainak csavarvonal irányával ellentétes. A molekuláris vákuumszivattyú ilyen szerkezeti kivitele az állórészen rögzített lapátlemezzel lehetővé teszi a gáz sűrítési fokának legalább ötszörösére növelését és egyben a szivattyú szívási sebességének javítását. Az alábbiakban a találmány egy lehetséges kiviteli alakjának részletes ismertetése következik a mellékelt ábrák alapján, ahol az 1. ábra a találmány szerinti molekuláris vákuumszivattyú teljes képét (hosszmetszetét), a 2. ábra a találmány szerinti molekuláris vákuumszivattyú forgórészét a külső felületén kialakított hornyokkal és barázdákkal (részbeni hosszmetszetét), míg a 3. ábra a forgórész egy olyan részét mutatja, ahol horony van kialakítva (a 2. ábra hosszmetszete a m-III vonal mentén). A molekuláris vákuumszivattyú üreges 1 állórészt tartalmaz (1. ábra), amelynek tengelyirányú 2 furatában 3 forgórész van csapágyazva. Itt a 4 rés a 3 forgórész 5 hengeres külső felülete és az 1 állórész 6 hengeres belső felülete közötti kellően kis méretű; általában 0,15...0,03 mm-es és viszonylag nagy ellenállást jelent a gázáramlás útjában, azaz megakadályozza a gáz átáramlását a gáz V szívási oldal felé (az ábrán nyíllal jelölve). A 3 forgórész 5 hengeres külső felületén (1. és 2. ábra) legalább egy körbefutó barázda van kialakítva. Az ismertetett kiviteli alak esetében ezen 7 körbefutó barázdák száma öt. Az összes 7 körbefutó barázda azonos szélessége, de különböző szélességűek is lehetnek. A 7 körbefutó barázdák a 3 forgórészt hat részre, 8, 9, 10, 11, 12 és 13 szakaszra osztják, amelyek szívási irányú hossza tehát a gáz V szívási oldal felől az N nyomási oldal irányában (az ábrán nyíllal jelölve) csökken. A gáz N nyomási oldalon levő 13 szakasz hossza körülbelül háromszorosa a gáz V szívási oldalon található 8 szakasz hosszának. A 3 forgórész 5 hengeres külső felületén a 8, 9, 10.11.12 és 13 szakaszokban a 7 körbefutó barázdák között 14 hornyok vannak kialakítva, amelyek csavarvonalszerűen futnak és többmenetű laposmenetet képeznek. Az ismertetett kiviteli alak huszonnégy 14 hornyot tartalmaz. Itt a csavarvonal emelkedési <p szöge (2. ábra), amelynek mentén a 14 hornyok ki vannak alakítva, valamennyi 8,9,10, 11.12 és 13 szakaszban egyenlő. A tárgyalt kiviteli alaknál ennek értéke kb. 25°. A (p szög különböző nagyságú lehet, értéke 5° és 50° között van, mint általában az ismert molekuláris vákuumszivattyúknál. A14 hornyok b szélessége (3. ábra) a csavarvonalra merőleges keresztmetszetekben, amelyek a 14 hornyok ki vannak alakítva, szintén valamennyi 8, 9, 10, 11, 12 és 13 szakaszban (1. és 2. ábra) egyenlő. A14 hornyok b szélessége azonban különböző lehet, mint az más ismert molekuláris vákuumszivattyúk esetében tapasztalható. Az ismertetett kiviteli alaknál a 14 hornyok b szélessége körülbelül megegyezik a 7 körbefutó barázdák a szélességével. A14 hornyok száma, amely a csavarmenet 3 menetszámával egyezik meg, különböző lehet, mint az más ismert molekuláris vákuumszivattyúk esetében is látható. Ez a csavarvonal emelkedési szögétől, amelynek mentén a 14 hornyok vannak kialakítva, a 14 hornyok b szélességétől, valamint a 3 forgórész átmérőjétől függ. A14 hornyok h mélysége (3. ábra) szakaszról szakaszra, a gáz V szívási oldaltól a gáz N nyomási oldal felé csökken, azaz minden két szomszédos 8 és 9,9 és 10,10 és 11,11 és 12,12 és 13 szakaszban (1. és 2. ábra) a 14 hornyok h mélysége a gáz V szívási oldalon kialakított 8,9,10, 11, 12 szakszókban nagyobb, mint a 14 hornyok h mélysége, amelyek a megfelelő, velük szomszédos 9,10,11,12 vagy 13 szakaszokban, a gáz N nyomási oldalain vannak kialakítva. A 3 forgórész 14 hornyainak h mélysége a 8,9,10,11,12 és 13 szakaszokban a legnagyobb értéktől a legkisebb érték felé a szívás irányában folyamatosan csökken. Valamennyi 14 horony 15 alapja, amelyek a 3 forgórész 8, 9, 10, 11, 12 és 13 szakaszokban van kialakítva, gyakorlatilag ugyanazon a kúppaláston helyezkedik el. Itt egyik 7 körbefutó barázda e mélysége sem lehet kisebb, mint a 14 hornyok legkisebb hmín mélysége az ezen 7 körbefutó barázdával szomszédos 8, 9, 10, 11 vagy 12 szakaszban, amely a gáz V szívási oldalon található. Mindegyik 7 körbefutó barázda 16 talpa hengeres felületen helyezkedik el. Az ismertetett kiviteli forma estében mindegyik 7 körbefutó barázda e mélysége olyan értékkel haladja meg a 14 hornyok hmin mélységét a megfelelő, 8,9,10,11 vagy 12 szakaszokban, ami a 7 körbefutó barázda a szélességével egyenlő. Mindegyik a 8, 9, 10, 11, 12 vagy 13 szakasz egyikében kialakított 14 horony 15 alapja (1. ábra) csonkakúpok felületén helyezkedik el, ahol a kisebbik alapfelületek átmérője a gáz V szívási oldal felé mutat, továbbá a kúp kisebb alapfelületeinek átmérője a 9,10,11,12,13 szakaszokban a csonkakúpok nagyobb alapfelüelteinek átmérőjét a 8,9,10,11,12 szakaszokban rendre meghaladja. Annak alapján, hogy a 7 körbefutó barázda 16 talpaként (2. ábra) a hengeres felület szolgál, amelynek átmérője nem kisebb, miut a csonkakúp nagyobb alapfelületének átmérője, amelyet a 14 horony 15 alapja képez (1. ábra) a 8,9,10,11 és 12 szakaszok mindegyikében, mindegyik 7 körbefutó barázda bemélyedést alkot a 3 forgórész 14 hornyának 15 alapja kúpfelületén, azaz ezen 14 horony 15 alapján. Minél nagyobb a 7 körbefutó barázda a szélessége és e mélysége, annál nagyobb ez a bemélyedés. A 3 forgórész (1. ábra) a 17 tengelyen helyezkedik el és annak egyik végéhez van rögzítve a 18 csavar segítségével. A 17 tengely másik vége egy nem ábrázolt villanymotorral áll kapcsolatban. Az 1 állórész 19 burkolatot tartalmaz, amely menetes kötéssel a 20 karimához van rögzítve. Az utóbbi 21 furattal rendelkezik, amellyel egy síkban a 20 karimán a G gáz nyomó oldalon 22 csőcsonk van rögzítve, az elővákuumos gázszivattyúzás csővezetékének csatlakoztatására (ábrán nem látható). A19 burkolat 6 hengeres belső felületén találhatók a 23 lapátlemezek, amelyek száma megegyezik a 3 forgórészen a 7 körbefutó barázdák számával. A tárgyalt kiviteli alaknál a 23 lapátlemezek úgy 4 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 3
