201386. lajstromszámú szabadalom • Turbomolekuláris vákuumszivattyú
HU 201386 B ^ fMs Kiadja az Országos Találmányi Hivatal, Budapest A kiadásért felel: Dr. Szvoboda Gabriella osztályvezető SZÜV LASER GYŐR Felelős vezető: a Számítóközpont igazgatója
/