200855. lajstromszámú szabadalom • Folyékony bevonó kompozíció amorf anyag felületén, különösen üvegfelületen, fluorral doppolt ón-oxidos bevonórétegek előállításához
9 HU 2008556 10 2 R, ohm/m A vékonyréteg 3,0 4,0 3,9 4,0 23 2,4 vastagsága, nm 187 198 194 192 200 200 Vezetőképesség, (ohm. cm)'1 1910 1365 1432 1406 1932 2270 III. táblázat folytatása Példa: 7. 8. 9. 10. 1L 12. Eljárási feltételek A folyékony kompozíció beadagolás! sebessége, cm3/h 19,4 20,5 293 14,4 30,6 30,6 A vivő levegő hőmérséklete, °C 150 167 150 200 204 200 áramlási sebessége, dm3/min. 10 3,7 4,2 3,7 3,7 3,7 relatív nedvessége 18 °C hőmérsékleten, % A fűtött lap hőmér-47 14 14 25 75 100 séklete, °C A leválasztás 690 650 650 650 650 650 időtartama, s A bevonat jellemzői: 4 8 7 40 7 30 Rétegellenállás, R, ohm/m2 2,4 3,8 3,4 2,6 3,8 4,2 A vékonyréteg vastagsága, nm 185 207 200 206 201 198 Vezetőképesség, (ohm. cm)'1 2460 1380 1562 2022 1421 1302 III. táblázat folytatása Példa: 13. 14. 15. 16. 17. 18. Eljárási feltételek A folyékony kompozíció beadagolást sebessége, cm3/h 30,6 223 223 153 63 63 A vivő levegő hőmérséklete, °C 150 150 200 175 125 150 áramlási sebessége, dm3/min. relatív nedvessége 3,7 3,7 3,7 3,7 3,7 10 18 °C hőmérsékleten, % A fűtött lap hőmér-50 50 50 50 50 47 séklete, ®C A leválasztás 650 650 650 650 650 560 időtartama, s A bevonat jellemzői: 45 18 27 73 7 18 Rétegellenállás, R, ohm/m2 4,1 3,4 3,2 33 3,7 33 A vékonyréteg vastagsága, nm 203 188 201 205 211 200 Vezetőképesség, (ohm. cm)'1 1296 1661 1658 1574 1394 1667 IV. táblázat Példa: 19. 20. 21. 22. 23. Eljárási feltételek A folyékony kompozíció beadagolás! sebessége, cm3/h 15,1 23 26 9,7 63 A vivő levegő hőmérséklete, °C 150 150 150 150 150 6
