200845. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés nagybonyolultságú és nagysebességű integrált áramkörök dinamikus átviteli tulajdonságainak mérésére
7 HU 200845 A 8 átmeneti jellel, valamint ismételt mérési és közelítési lépésekkel meghatározott bemeneti, kimeneti első korrekciós karakterisztikával konvolváljuk (megszorozzuk), amelyekre igaz, hogy a műveletek elvégzése után a bemeneti, kimeneti korrigált mintavett átmeneti jel előírt pontossággal megközelíti a megmért egységugrás jelalakját. Ezután csökkentjük a változtatható kapcsolási idejű gerjesztőjel kapcsolási idejét és ezalatt külső etalon sampling oszcilloszkóppal megmérjük és egyidőben beállítjuk a mérendő integrált áramkör közvetlen mérőhelyén illesztett állapotú „n” számú bemeneti ponton a mérendő integrált áramkört közvetlenül meghajtó valós bemeneti Jel az adott mérendő integrált áramkörre jellemző kapcsolási idejét. Ezt követően lemérjük az ezt előidéző változtatható kapcsolási idejű gerjesztőjel tényleges kapcsolási idejét, majd ezen két mérési eredményből a bemeneti, kimeneti első korrekciós karakterisztikával azonos módon meghatározzuk az „n" számú egyidejűleg programozható és időzíthető gerjesztőjel csatlakozási helye, egyben az „n” számú driverelem geometriai kimeneti pontja, valamint a mérendő integrált áramkör közvetlen mérőhelyének illesztett állapotú „n” számú bemeneti pontja közötti rr.érővonalszakasz torzító hatását figyelembevevő második korrekciós karakterisztikát. Ezután a bemeneti és kimeneti első korrekciós karakterisztikát a második korrekciós karakterisztikával összeszorozzuk és tároljuk egyrészt a mérendő integrált áramkör közvetlen mérőhelyének „n” számú bemeneti pontjára normált bemeneti harmadik korrekciós karakterisztikát, másrészt a mérendő integrált áramkör közvetlen mérőhelyének „m” számú kimeneti pontjára normált kimeneti harmadik korrekciós karakterisztikát. Továbbá az eddigi műveleteket az „n” számú bemeneti mérővonal mindegyikére és az „m” számú kimeneti mérővonal mindegyikére elvégezzük, és az „n” számú bemeneti és az „m” számú kimeneti harmadik korrekciós karakterisztikát tároljuk. Ezután a mérendő integrált áramkört a közvetlen mérőhelybe visszahelyezve előírásszerűén működtetjük és ezen működés közben dinamikus paraméterméréseket végzünk. A torzító tényezőket is tartalmazó adott számú bemeneti mintavett jelet a megfelelő sorszámú bemeneti harmadik korrekciós karakterisztikával konvolváljuk, amelyekre igaz, hogy a műveletek elvégzése után a bemeneti, korrigált, tárolt jel leképezi vagy előírt pontossággal megközelíti a mérendő integrált áramkör közvetlen mérőhelyének „n” számú bemeneti pontján a valós bemeneti jelet. Továbbá a torzító tényezők hatását is tartalmazó adott számú kimeneti mintavett jelet a megfelelő sorszámú kimeneti harmadik korrekciós karakterisztikával konvolváljuk, amelyekre igaz, hogy a műveletek elvégzése után a kimeneti, korrigált, tárolt jel leképezi vagy előírt pontossággal megközelíti a mérendő integrált áramkör közvetlen mérőhelyének „m" számú kimeneti pontján a valós válaszjelet. Majd mind az „n" számú bemeneti mérővonal és mind az „m” számú kimeneti mérővonal saját késleltetési időit megmérjük, a geometriai eltérésekből adódó késleltetési idők eltérését minden egyes „n” számú bemeneti, illetve „m” számú kimeneti mérővonalra az átlaghoz képest meghatározzuk, tároljuk. Ezután a bemeneti, kimeneti korrigált, tárolt jelek jelalakjából a dinamikus paramétereket meghatározzuk és a dinamikus paraméterek mérésekor ezen mórővonalankénti tárolt eltérési értékeket a meghatározott dinamikus paraméterekhez hozzáadjuk vagy levonjuk. Az eljárás egy előnyös foganatosítási módjára jellemző, hogy az „n" számú egyidejűleg programozható és időzíthető gerjesztőjel helyett, azaz az „n” számú driverelemek „n” számú geometriai kimeneti pontjára változtatható kapcsolási idejű gerjesztőjelet csatolunk és annak kapcsolási idejét diszkrét értékekkel folyamatosan változtatjuk . Megmérjük a változtatható kapcsolási idejű gerjesztőjel minden egyes diszkrét kapcsolási idejéhez tartozó bemeneti gerjesztett mintavett jelek kapcsolási időit, valamint a kimeneti gerjesztett mintavett jelek kapcsolási időit. Ezután a megmért összetartozó értékekből előállítunk bemeneti, kimeneti torzulási karakterisztikát, majd a küiső etalon sampling oszcilloszkóppal megmérjük és egyidőben beállítjuk a mérendő integrált áramkör közvetlen mérőhelyén illesztett állapotú „n” számú bemeneti ponton a mérendő integrált áramkört közvetlenül meghajtó valós bemeneti jel az adott mérendő integrált áramkörre jellemző kapcsolási idejét. Ezt követően lemérjük az ezt előidéző változtatható kapcsolási Idejű gerjesztőjel tényleges kapcsolási idejét és ezen két mérési eredmény, valamint a bemeneti és kimeneti torzulási karakterisztika alapján meghatározzuk és tároljuk mind a bemeneti, mind a kimeneti mórővonalra vonatkozó bemeneti, kimeneti helyreállító korrekciós karakterisztikát. A mérendő integrált áramkör közvetlen mérőhelyén történő mérésénél egyrészt a bemeneti mérővonalon megmért bemeneti mintavett jelet a bemeneti mérővonal bemeneti helyreállító korrekciós karakterisztikájával szorozzuk, amelyre igaz, hogy a szorzás elvégzése után a bemeneti módosított jel leképezi vagy előírt pontossággal megközelíti a mérendő Integrált áramkör közvetlen mérőhelyének „n” számú bemeneti pontján az előírt kapcsolási idejű, valós bemeneti jelet. Másrészt a kimeneti mérővonaion megmért kimeneti mintavett jelet a kimeneti mérővonal kimeneti helyreállító korrekciós karakterisztikájával szorozzuk, amelyre igaz, hogy a szorzás elvégzése után a kimeneti módosított jel leképezi vagy előírt pontossággal megközelíti a mérendő integrált áramkör közvetlen mérőhelyének „m” számú kimeneti pontján a valós kimeneti válaszjelet. Majd a bemeneti, kimeneti helyreállító korrekciós karakterisztikával elvégzett szorzások után a be5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 6
