200845. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés nagybonyolultságú és nagysebességű integrált áramkörök dinamikus átviteli tulajdonságainak mérésére
HU 200 845 A sodik mérő és szabályozó hurokkal végzett szabályozással „k” számú időzítőjelet (TMRi ... TMRk) hozunk létre az „n" számú egyidejűleg programozható és időzíthető gerjesztőjel (f 1 (t)) időzítésére, a mérendő integrált áramkör (12) paramétermérését megelőzően azt eltávolítjuk és a közvetlen mérőhelyre (11) az etalon tápvonalat (13) helyezzük be. Az eljárásra jellemző, hogy az „n" számú egyidejűleg programozható és időzíthető gerjesztőjelet (f 1 (t)) bemeneti koaxális demultiplexeren (14) át bemeneti mintavevővel (17b) leképezzük és bemeneti mintavett jelként tároljuk, majd a bemeneti, kimeneti mérővonalon megmért két mintavett átmeneti jelet olyan bemeneti, kimeneti első korrekciós karakterisztikával konvolváljuk, amelyekre igaz, hogy a műveletek elvégzése után a bemeneti, kimeneti korrigált mintavett átmeneti jel előírt pontossággal megközelíti a megmért egységugrás jelalakját. Továbbá az „n" számú driverelem (8) geometriai kimeneti pontja (10), valamint a mérendő integrált áramkör (12) közvetlen mérőhelyének (11) illesztett állapotú „n” számú bemeneti pontja közötti mérővonalszakasz torzító hatását figye lembevevő második korrekciós karakterisztikát hozunk létre. Ezután az eddigi műveleteket az „n” számú bemeneti mórővonal mindegyikére és az „m” számú kimeneti mérővonal mindegyikére elvégezzük, és az „n” számú bemeneti és az „m” számú kimeneti harmadik korrekciós karakterisztikát tároljuk. A merendő integrált áramkört (12) a közvetlen mérőhelybe (11) visszahelyezzük, majd előírásszerű működtetése közben dinamikus paraméterméréseket végzünk és létrehozzuk a bemeneti korrigált, tárolt jeleket, valamint a kimeneti korrigált, tárolt jeleket, amelyek jelalakjából a dinamikus paramétereket meghatározzuk. A találmány szerinti berendezés tartalmaz nagystabilitású időalapjel generátort (1), referencia kábelt (2) referencia ponttal (3), amelyek időzítő rendszer (5) bemenetelre kapcsolódnak, PIN logikát (7), amelynek funkcionális bemenetére „n” csatornás szógenerátor (6) kapcsolódik. A berendezésre jellemző, hogy az „n" számú driverelem (8) „n” számú geometriai kimeneti pontja (10) másrészt bemeneti koaxális demultiplexer (14) „n” számú bemenetére csatlakozik, amelynek kimenetére a bemeneti mintavevő (17b) jelbemenete kapcsolódik, a bemeneti mintavevő (17b) kimenete pedig a jelalak analizátor (18) egyik bemenetére (CH1) van kötve. Az „n” számú driverelem (8) helyére időlegesen változtatható kapcsolási idejű jelgenerátor (25) kimenete kapcsolódik, a változtatható kapcsolási idejű jelgenerátor (25) kimenetére az etalon tápvonallal (13) ellátott közvetlen mérőhely (11) illesztett „n” számú bemeneti, illetve „m" számú kimeneti pontjaira időlegesen külső etalon sampling oszcilloszkóp (24) kapcsolódik. A jelalak analizátor (18) egyik és másik bemenetére (CH1, CH2) a bemeneti, kimeneti mintavevőn (17b, 17k) és a bemeneti, illetve kimeneti koa xális demultiplexeren (14, 15) keresztül időetalon egység (19) és amplitudóetalon egység (20) kapcsolódik. Az időetalon egység (19) bemenetére „n+1” sorszámú driverelem (8) csatlakozik, amelynek időzítő bemenete az időzítő rendszer (5) kimenetéhez kapcsolódik, logikai szint bemenetei pedig a programozható tápegység (21) kimeneteinek másik részére csatlakoznak (1. ábra). 2