200035. lajstromszámú szabadalom • Eljárás dielektrikum vékonyrétegek utókezelésére
(19) Országkód: HU SZABADALMI LEÍRÁS S * ^ (11) LajatromszÁm: 200035B SZOLGALATI TALÁLMÁNY (22) Bejelentés napja: 1986.11.05. (21) 4597/86 (51) Int. Cl.5 H 01 L 21/423 G 02 B 1/12 MAGYAR KÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL (40) Közzététel napja: 1988.10.28. (45) Megadás meghirdetésének dátuma a Szabadalmi Közlönyben: 1990.03.28. (72) Feltalálók: PETŐ Gábor 35%, VÉRTESY Gábor 65%, Budapest, (HU) (73) Szabadalmas: MTA Központi Fizikai Kutató Intézete, Budapest, (HU) (54) ELJÁRÁS DIELEKTRIKUM VÉKONYRÉTEGEK UTÓKEZELÉSÉRE (57) KIVONAT A találmány szerinti eljárás főként SiO, Si02 és/vagy TizOa tartalmú vékonyrétegek, előnyösen üveghordozón való tapadásának és mechanikai szilárdságénak megnövelésére, valamint optikai tulajdonságainak trimmelósére alkalmas. A hordozóra felvitt dielektrikum vékonyrétegeket targetként alkalmazzuk, és felületüket a vékonyréteg anyagára kémiailag közömbös, célszerűen 7-20 rendszámú elemek valamelyikének, elsősorban nitrogénnek, oxigénnek és argonnak Í^-IO-15 - 2T0-15 J energiára felgyorsított ionjaival, 6T012 - 34014 ion/cm2 dózissal homogén módon, közvetlenül besugározzuk. .4 leír5.s :srjedi:i.in:e: HU 200035 B
