200022. lajstromszámú szabadalom • Optikai letapogató egység, valamint optikai olvasó és/vagy író berendezés az optikai letapogató egység felhasználásával
9 HU 200022 B 10 Ha 13-20 detektorokból érkező jeleket a továbbiakban S-sel jelölünk a megfelelő indexszel ellátva, akkor az X és Y tengelyek mentén létrejövő elmozdulások, valamint ezen tengelyek körüli elfordulások az alábbi öszszefüggésekkel jellemezhetők: Sx = (Su + Sis + Sis + S19) -- (S13 + Sis + S17 + Szol Sy = (S13 + S14 + S17 + Sis) -- (S15 + Sis + S19 + S20) S(^= (Sl3 + Sl4 + Si9 + Szó) -- (Sl7 + Sl8 + SlS + Sl6) S[1 = (Sl4 + Sl5 + Sl7 + S20) -- (Sl8 + Sl9 + Sl3 + Sl6). Az egyes detektorok jelét fel lehet dolgozni oly módon, hogy Sx, St, S ^ és S ß összetett jeleket kapjunk egy elektronikus áramkör segítségével, mint amilyet például a 3. ábrán láthatunk. Ennek az áramkörnek a működése, amely 40-70 és 50-57 összegező áramkört tartalmaz, valamint 48, 49, 58, 59 kivonó áramkört tartalmaz, nyilvánvaló az ábrából, és részletesebb magyarázatot nem igényel. Az Sx, Sy, Sd és Sß összetett jelek egymástól függetlenek, és közöttük kölcsönös áthallás nem jön létre; ily módon a különböző elmozdulások és billenési szögek egymástól függetlenül detektálhatok. A 3 tárgylencsének a Z tengely körüli elfordulása nem okoz változást a gyűrű alakú 21 sugárképben, és következésképpen nem befolyásolja a detektor jeleket. A 3 tárgylencsének a Z tengely menti elmozdulásai szintén nem befolyásolják a 21 sugárképet. A letapogató egységben a jeleket egy elektromágneses felfüggesztett rendszer mágnestekercseinek táplálására használjuk. Ily módon a 3 tárgylencsének a transzlációs- és szöghelyzete a 13-20 detektorok transzlációs helyzetéhez és szöghelyzetéhez van kötve, amely a letapogató egységen belül rögzített helyzetet foglal el. Ily módon működés közben a leolvasó berendezés a 3 tárgylencsét mindig úgy szabályozza, hogy a megfelelő transzlációs- és szöghelyzet legyen biztosítva a letapogató egységen belül. E célból követelmény az, hogy a kúpos 5 tükörgyűrű a 3 tárgylencséhez rögzített transzlációs- és szöghelyzetben legyen. E célból - amint az az 1. ábrán látható - az 5 tükőrgyűrű a 3 tárgylencse 4 tartójának részét képezheti, amelyen belü a 3 tárgylencse mereven rögzítve van. Egy lehetséges változat szerinti az 5 tükőrgyűrű egy külön elem is lehet, amely elem a 3 tárgylencse 4 tartójára kívülről vagy belülről rögzíthető. Az 5 tükörgyűrűnek a transzlációs- és szöghelyzete nagyon pontosan összekapcsolható a 3 tárgylencse transzlációs- és szöghelyzetével, ha a tárgylencsét formázással alakítjuk ki. Ezt a megoldást szemlélteti a 4. ábra. Régen ismeretes hogy egy, a fentiekben ismertetett letapogató egységben a több elemből álló tárgylencse helyettesíthető egy olyan tárgylencsével, amely csupán egyetlen lencsét tartalmaz. Jóllehet, szférikus törőfelületek helyett ennek a lencsének aszférikus törőfelületeket is kell tartalmaznia annak érdekében, hogy a iencseaberrációkat megfelelő módon korrigálni tudjuk. Annak érdekében, hogy ilyen, bonyolult felületi profillal rendelkező egyetlen tárgylencsét nagy mennyiségben, elfogadható áron lehessen gyártani, korábban már azt javasolták, hogy alkalmazzanak egy átlátszó 60 idomot, amely például üvegből van, és amelynek két szférikus 61 és 62 törőfelülete van. A 61 és 62 törőfelületek egyikére vagy mindkettőjükre megfelelő lágy állapotban műanyagot visznek fel. Ez a műanyag lehet hőre keményedé műanyag, de egy lehetséges változat szerint lehet ultraibolya sugárzásra polimerizálódó műgyanta. Miután a műanyagot felvittük a felületre, az anyagra egy olyan sajtoló idomot nyomunk, amelynek a felületi profilja a kívánt lencseprofil negatívja. Ezt követően, miután az anyag megkeményedett, és a sajtoló idomot eltávolítottuk, egy olyan lencsét kapunk, amelynek aszférikus 64 profillal rendelkező 53 műanyag rétege van. Az ilyen lencséket további megmunkálásnak, mint például polírozóénak nem kell alávetni. A találmány szerinti sajtoló idom, amelynek segítségével a tárgylencsét kialakítjuk, úgy is kialakítható, hogy az aszférikus 63 réteg mentén egy kiugró 65 perem legyen egy 66 ferde felülettel. A tárgylencse elkészítése után a 66 ferde felületet csupán egy 67 reflektáló bevonattal kell ellátni, például rápárologtatással, annak érdekében, hogy egy a tárgylencsével integrált kúpos tükörgyűrűt kapjunk. A reflektáló kiugró 65 perem a lencsének a sugárforráshoz legközelebb eső részén kialakítható, de egy lehetséges változat szerint egy másik lencsefelületen is elkészíthető. Egy további lehetséges változat szerint a teljes tárgylencse kialakítható átlátszó műanyagból a kívánt profilú sajtoló idomok segítségével. A lencse felületének kialakításához használt sajtoló idomot a peremén egy olyan bevágással készíthetjük el, hogy az így gyártott lencsének kiugró pereme legyen, amely ferde belső felülettel rendelkezik. Abban az esetben, ha egy üveg idomot alkalmazunk, az első változat szerint úgy annak az az előnye, hogy az a hömérBÓklet-változásokkal és más környezeti behatásokkal szemben, mint például nedvességgel szemben sokkal ellenállóbb. Nyilvánvaló, hogy a letapogató egység több lencséből álló tárgylencsét tartalmazhat, és az utolsó lencsének a felülete, amely a sugárforrás felé esik, aszférikus felülettel rendelkezhet, amely integráns részként egy kúpos tükörgyűrüt hordozhat. Egy másik lehetséges változat szerint ezt a tükröt egyik másik lencsére is felvihetjük. 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 7
