199991. lajstromszámú szabadalom • Eljárás mágneses doménszerkezet kimutatására II. típusú mágneses anyagok esetében
3 HU 199991 B 4 5, illetve 6 detektorokban az ellentétes előjelű 5b, illetve 6b jeleket keltik. Amikor az elektronnyaláb az 1 felületet végigtapogatja, a mintavételi pont távolságától függően csökken, illetve nő az 5, 6 detektorok 5e, illetve 5 6c jele. Ez a változás egy vagy két nagyságrenddel nagyobb is lehet a mágnességböl eredő kontrasztnál. Az 5, 6 detektorok jeleit egy megfelelő analóg áramkörrel összegezzük. Az összege- 10 zéskor a felületi morfológiából származó 5b, 6b jelek, illetve a távolságfüggó 5c, 6c jelek kioltják egymást, viszont a domének mágnesességéből eredő, négyszögjelszerű 5a, 5b jelek átmeneteinél a kontrasztok felerősödnek 15 és állandóak maradnak a minta felszíne mentén. Az összegjelet a kontrasztok kiemelése céljából elektronikus úton deriváljuk, majd képernyőn megjelenítjük, és a kiértékelés 20 megkönnyítéséhez, illetve az eredmény rögzítéséhez lefényképezzük. Az eljárás végrehajtására elektronmikroszkópot használunk. Egy tipikus esetben az elektronforrás egy izzított volfrámkatód, 25 és az elektronok energiája 40 keV. A minta az elektronforrástól kb. 500 mm távolságban van elhelyezve, és felületén a letapogatási hossz kb. 1 mm. Ilyen geometriai viszonyok mellett az elektronsugár beesési szöge az el- 30 térítés folyamán csak elhanyagolható mértékben változik, azaz mindig merőlegesnek tekinthető. A félvezető diódás detektorok az elektronnyaláb két oldalán szimmetrikusan, egymástól 10-20 mm, a minta felületétől pedig 20-40 mm távolságban vannak elhelyezve. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Eljárás mágneses doménszerkezet kimutatáséra II. típusú mágneses anyagok esetében, amelynek során a mágneses anyagból álló minta felületét elektronsugárral végigpásztázzuk, a mintából rugalmasan visszaszóld elektronokat hely függvényében detektáljuk és megjelenítjük, azzal jellemezve, hogy a mintát a felületére (1) merőlegesen beeső elektronokkal (3) pásztázzuk végig, a rugalmasan visszaszórt kilépő elektronokat (4) a pásztázó elektronsugár két oldalán, célszerűen arra szimmetrikusan elhelyezett két detektorral (5, 6) érzékeljük, majd a detektorok (5, 6) jeleit (5a, 5b, 5c; 6a, 6b, 6c) összegezzük, és az összeg jelet jelenítjük meg. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az összegjelet a megjelenítés előtt elektronikus úton deriváljuk. Kiadja az Országos Találmányi Hivatal, Budapest - A kiadásért felel: Himer Zoltán osztályvezető R 4916 - KJK 90.2761.66-13-2 Alföldi Nyomda Debrecen - Felelős vezető: Szabó Viktor vezérigazgató 4
