199039. lajstromszámú szabadalom • Rétegszerkezet MOS és CMOS févezető eszközök előállítására és eljárás az előállítás megvalósítására

HU 199039 B

Int Cl4 H 01 L 29/78

13.ábra

14.ábra

15. ábra 4

16.abra

17ábra

1a

X

P L

/

I \

n

______I

'a

1a

, r~

t

□J 1 ..............-1

5 \_

a - - -l______

6b

6c

hl I ti t

1a

18-ábra^ ^

6d

]

1

í

—1 i 1----------'

r x

.

_________________T/n ,

, /.■■■■ 4T-Z.-4 / / ^ ///■

ŰZL /-/r i _1 ■ Z /t í ^-S

P J

X

i

/ ^

2

1

2 1

4

ez

12a

19.ábra

12b 1a

12c

12d