199021. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és mérési elrendezés félvezető anyagok, különösen egykristály szeletek mély nívóinak nem destruktív úton történő kimutatására
15 HU 199021 B 16 9. A 8. igénypont szerinti mérési elrendezés, azzal jellemezve, hogy a mintatartó (2) átlátszó anyagból van kiképezve és a vályú által határolt tartományba nyíló további járattal (7) van ellátva, amely vákuumot létesítő egységhez csatlakozik. 10. A 9. igénypont szerinti mérési elrendezés, azzal jellemezve, hogy a mintatartchoz (2) h fényimpulzusokat bevezető üvegszál csatlakozik. 5 11. A 8. vagy 9. igénypont szerinti mérési elrendezés, azzal jellemezve, hogy a gázadagoló szerkezet folyékony nitrogéntartályl, ebbe merített hőcserélőt és nitrogén forráshoz csatlakoztatható csonkot tartalmaz. 10 .Kiadja az Országos Találmányi Hivatal, Budapest - A kiadásért felel: Himer Zoltán osztályvezető' R 4890 - KJK 90.2640.66-13-2 Alföldi Nyomda Debrecen - Felelős vezető: Benkö István vezérigazgató 10
