199009. lajstromszámú szabadalom • Eljárás bevonatok vastagságának ellenőrzésére
1 HU 199009 B 2 27 flj Aj Zj Aeff - -----------------, 27 n j Zj 27 &j Aj Zj Z«ff ” ----------------27 Dj Aj ahol Dj, Aj, illetve Zj a bevonatot képező összetevők atomjainak száma, atomsúlya, illetve atomszáma. Az Aeff/Zeff arány bármely anyag esetében csekély mértékben, 2 és 2,6 között változik, Többrétegű bevonatok vizsgálatakor azokat a rétegeket, amelyek egy másik réteg alatt helyezkednek el közvetlenül, a felette lévő réteg szempontjából alaplemeznek lehet tekinteni, mely esetben azok vastagságát az (1) összefüggésből lehet megkapni, ha levonjuk az elektronsugár energiáját, melynél a felső réteg karakterisztikus sugárzásának spektruma megjelent. A 2. ábrán mutatjuk be az Eu elektronsugár energiaértékek meghatározását olyan esetben, amikor az alaplemez alumínium, amely alumínium-oxid réteggel van bevonva, éspedig három mintára, melyeknek bevonatvastagsága különböző. Az ilyen eljárással végrehajtott mérések eredménye 3.10'^m (10 jelű egyenes) vastaságú oxidréteg, (a mérési eredményeket kerek A értékekkel extrapoláljuk), 3,8,10'9 m (30 jelű egyenes) és 4,3 10'9 m (20 jelű egyenes). Ezzel az eljárással nagy érzékenység érhető el, mivel minden anyagnak van egy saját és ismert karakterisztikus ultralágy röntgenspektruma, amelynek alapján a szóbanforgó anyagot fel lehet ismerni. A találmány szerinti eljárással végzett bevontvastagság ellenőrzést technológiai szempontból kényelmesen lehet végrehajtani, és az elektronsugár energiáját úgy lehet megválasztani, hogy az biztosan keresztülhajoljon a bevonaton, melyet ellenőrizni kell. A bevonat és az aiaplemez karakterisztikus vonalainak intenzitásértékeit mérve és összehasonlítva a különböző mintákon nagyon kis bevonatvastagság különbségeket fel lehet ismerni, igen gyorsan. Szabadalmi igénypont Eljárás bevonatok vastagságának ellenőrzésére, melynek során az alaplemezt és az arra felvitt bevonatot forrás által kibocsátott, egy az energia szempontjából homogén elektronsugárral besugározzuk, a karakterisztikus sugárzás spektrumát mérjük és meghatározzuk a bevonat vastagságát, azzal jellemezve, hogy az energia szempontjából homogén elektronsugár(e) energiáját a forrás (1) gyorsítófeszültségének megváltoztatásával változtatjuk, és a karakterisztikus sugárzást az alaplemezre (3) jellemző ultralágy spektrum tartományában analizáló detektor (4) és azzal összekapcsolt mérőkészülék (S) segítségével mérjük, és a bevonat (22) vastagságát az elektronsugár energia (E0) nagysága szerint határozzuk meg, melynél az alaplemez (3) sugárzás spektruma megjelenik. 5 10 15 20 25 30 35 3
