198969. lajstromszámú szabadalom • Eljárás munkadarabok kezelő gázközegben végzett gázkisüléssel történő kémiai termikus kezelésének vezérlésére, valamint berendezés az eljárás foganatosítására
1 HU 198969 B 2 22 átkapcsoló ekkor olyan állásban van, amely a kezelési gáz kiválasztását végző WG jelnek felel meg. Abban az esetben, ha az Xu jel kisebb mint a Wu jel, a 24 illetőleg 25 végrehajtó szerv nyit és a 3 munkakamrába kezelési gáz áramlik. A kezelési gáz átfolyási mennyiségének értéke a negyedik vezérlő WG jel értékének felel meg. A kezelési gáznak a 3 munkakamrába való beáramlásával a 3 munkakamrában uralkodó nyomás növekszik, egyidejűleg csökken a feszültség értéke, amelyet az S feszültségjeladóval mérünk. A gázkisülés feszültsége az előre meghatározott Ui érték eléréséig csökken. Az ezt követő szakaszokban a gázkisülés feszültségét a fentiekben leírt módon vezéreljük, ennek során az előre meghatározott U2, U3, U4 értékeknek megfelelő, állandó feszültségértéket állítunk be. A IS frekvencia-feszültség átalakító kimenetén Xf jel jelenik meg, amely az ívkisülések gyakoriságának értékét jellemzi. A második 13 összehasonlító elem az Xf jelet Wf jellel hasonlítja össze, amely Wf jel az ívkisülések előírt gyakorisági fj értékének felel meg. Az összehasonlítás eredményekét nyert hibajelből a második 14 szabályozó második vezérlőjelet állít elő. A 8 h*' nérsékletjeladó kimenetén Xt jel jelenik meg, amely a 7 munkadarabok hőmérsékletértékének felel meg. Az első 9 összehasonlító elem az Xj jelet Wj jellel hasonlítja össze, amely az egyes műveleti fázisokban előírt Tj, T2, T3, T4 értékeknek felel meg. Az összehasonlítás eredményeként kapott hibajelből az első 11 szabályozó első vezérlőjelet állít elő. A 12 összegező tag az első és a második vezérlőjelet összegezi és az összegezett jelet a harmadik 16 összehasonlító elem első bemenetére vezeti. A harmadik 16 összehasonlító elem az összegezett jelet — amely ebben az esetben előírt W| jelként szerepel — Xj jellel hasonlítja össze. Az Xj jel I kisülési áram értékének felel meg. Az összehasonlítás eredményeként kapott hibajelből a harmadik 17 szabályozó harmadik vezérlőjelet állít elő. A harmadik vezérlőjel vezérli az 1 egyenfeszültségforrás kimenetén megjelenő feszültséget oly módon, hogy a 3 munkakamrában mérhető 1 kisülési áram az előre meghatározott W{ jelnek megfelelő értékű legyen. A W] jel az ívkisülések gyakorisági fj értékére, valamint a kezelendő 7 munkadarabok hőmérsékletének Ti, T2, T3 és T4 értékére vonatkozó vezérlőjelek összegének felel meg. Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás munkadarabok kezelő gázközegben végzett, gázkisüléssel történő kémiai-termikus kezelésének vezérlésére, amelynek során a munkadarabokat felületeinek egyidejűleg történő katódporlasztásával felmelegítjük és diffúziós úton dúsítjuk, ennek során a munkadarabok hőmérsékletét és az ívkisülések gyakoriságát mérjük, a mért értékekeket előre meghatározott értékekkel hasonlítjuk össze, az összehasonlítás eredményeként nyert hibajelekből vezérlőjeleket állítunk elő, azzal jellemezve, hogy a gázkisülés feszültségét a munkadarabok felmelegítését és felületének egyidejűleg történő katódporlasztását végső műveleti fázisa során egy előre meghatározott, a munkadarabok katódporlasztásának előírt intenzitását biztosító értéknek megfelelő, legalább egy állandó értéken tartjuk, majd a munkadarabok diffúziós úton való dúsítását előre meghatározott hőmérsékleten végrehajtó műveleti fázis során a gázkisülés feszültségét legalább egy előre meghatározott, a munkadarabok meghatározott tulajdonságait biztosító értéknek megfelelő, legalább egy, állandó, második értéken tartjuk, majd a munkadarabok lehűtését végrehajtó műveleti fázis során a gázkisülés feszültségét legalább egy, előre meghatározott, a munkadarabok végleges tulajdonságait biztosító értéknek megfelelő, legalább egy, állandó, harmadik értéken tartjuk, az említett műveleti fázisok során az ívkisülések gyakoriságának tetszőlges értékét az ívkisüléseknek egy előre meghatározott gyakorisági értékével korlátozzuk, a munkadarabok hőmérsékletét előre meghatározott, növekvő, állandó és csökkenő — a gázkisülések feszültségének említett, legalább egy, előre meghatározott értékével együtt a katódporlasztás előírt intenzitását, és a munkadarabok meghatározott, végleges tulajdonságait biztosító — értéken tartjuk, továbbá az egyes műveleti fázisok során kezelési gázokat alkalmazunk, amelyeket a gázkisülések előre meghatározott fesziiltségértéksorának megfelelő sorrendben alkalmazunk, ahol a gázkisülések feszültségét a kezelési gáz átfolyásával vezéreljük, továbbá mindegyik műveleti fázisban a munkadarabok hőmérsékletének és az ívkisülések gyakoriságának mérése mellett a gázkisülés áramát, valamint feszültségének amplitúdóértékét is mérjük, a munkadarabok mért hőmérsékletértékein és az ívkisülés gyakoriságán kívül a gázkisülés feszültségének amplitúdóértékét is az előre meghatározott értékével összehasonlítjuk, és az így kapott, a hőmérsékletre és az ívkisülések gyakoriságára vonatkozó hibajelekből a hőmérsékletre és az ívkisülések gyakoriságára vonatkozó vezérlőjeleket állítjuk elő és összegezzük, az összegezett jelet a kisülési árammal arányos jellel összehasonlítjuk, majd az így nyert hibajelből a gázkisülés feszültségének számára vezérlőjelet állítunk elő oly módon, hogy a gázkisülés áramát a hőmérséklet és az ívkisülések gakoriságára előállított vezérlőjelekből képzett összegezett jelnek — PID-jellegű szabályozás szerint — megfelelően beállítjuk, továbbá a gázkisülés amplitúdóértékének hibajeléből a kezelési gáz átfolyását szabályozó vezérlőjelet állítunk elő oly módon, hogy a gázkisülés amplitúdóértékét az előre meghatározott értéknek — PID-jellegű szabályozás szerint — megfelelően állítjuk be. 2. Berendezés az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítására, amelynek egyenfeszültségforrása, valamint feszültségjeladója van, ahol a munkadarabok munkakamrában hőmérsékletjeladóval hővezető kapcsolatban vannak, a hőmérsékletjeladó első összehasonlító elemen keresztül első szabályozóval van összekötve, a munka5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 6
