198338. lajstromszámú szabadalom • Eljárás piezorezitív érzékelők előállítására
1 2 ! 98.3.18 Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás kis hőmérséklet-függőségű pjezorezisztív 5 — elsősorban erő, nyomás és gyorsulás mérésére szol gáló érzékelők előállítására,amelynek során hordozóként n típusú szilícium félvezető anyagot haszná lünk, a hordozó felületi rétegébe ionimplantációval adalékanyagként bórionokat juttatunk, ezt követően a felületi rétegből az adalékanyag atomjait hőmérsékletnövelés segítségével, gázáramban a hordozó mélyebb rétegébe juttatjuk, azzal jellemezve, hogy az implantációhoz 20 30 pC töltésmennyiségö és 25 1 50 keV Implantációs energiájú bórlont használunk, az implantációt követően az adalékanyaggal ..t szennyezett hordozót 1000 1100 °C közötti környe- ' zeti hőmérsékletben hőkezeljük, a hőkezeléshez pedig 60 240 percig 100 200 liter/óra térfogatáramú 02 gázfürdöt és adott esetben legfeljebb 180 percig 100- 200 liter/óra térfogatáramú N2 gázfürdőt használunk. 2. Az I. Igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az ionimplantációt 11 B forrásból 100 keV implantációs energiával 26 pC töltésmennyiséggel végezzük, majd az implantáció utáni hőkezelést 1050 C-on hajtjuk végre, a hőkezeléshez 100 percig 160 liter/óra térfogatáramú 02 gázt és 140 percig 160 liter/óra térfogatáramú Na gázt használunk. 3. Az 1. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az ionlmplantáclót I I B** forrásból 50 keV Implantációs energiával 26 pC töltésmenynyiséggel végezzük, majd az implantáció utáni hőkezelést 1050 C-on hajtjuk végre, a hőkezeléshez 100 percig 160 liter/óra térfogatáramú N2 gázt használunk. rajz nélkül Kiadja: Országos Találmányi Hivatal Felelős kiadó Himer Zoltán o.v. KÓDEX 3
