198338. lajstromszámú szabadalom • Eljárás piezorezitív érzékelők előállítására
(19) HU MAGYAR népköztArsasAg SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGALATI TALÁLMÁNY A bejelentés napja; (22) 1985.1. 31. (21) 355/85 ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL A közzététel napja: (41) (42) 1986. IX. 29. Megjelent: (45) 1989.11.28. (11) 198338 B Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZ04 GOI L9/06 H01 L 41/22 Feltaláló(k): (72) Almási István üzemmérnök. Bársony István, fizikus, Berke ez János, ok l.vill. üzem mérnök, Trutz Sándor, villamosmérnök, Budapest 10% 25% 35% 30% Szabadalmas: (73) Mikroelektronikai Vállalat, Budapest (54) Eljárás piezorezisztfv érzékelők előállítására (S7)KIVONAT Eljárás kis hőmérséklet-függőségű plezorezisztív - elsősorban erő, nyomás és gyorsulás mérésére szolgáló - érzékelők előállítására, amelynek során hordozóként n típusú szilícium félvezető anyagot használunk, a hordozó felületi rétegében ionlmplantádóval adalékanyagként bórionokat juttatunk, ezt követően a felületi rétegből az adalékanyag atomjait hőmérsékletnövelés segítségével, gázáramban a hordozó mélyebb rétegébe juttatjuk. Jellegzetessége, hogy az implantációhoz 20-30 °C töltésmennyiségű és 25-150 keV implantációs energiájú bóriont használunk. Az implantációt követően az adalékanyaggal szennyezett hordozót 1000- 1100 °C közötti környezeti hőmérsékletben hőkezeljük, a hőkezeléshez pedig 50-240jtercig 100-20011- ter/óra térfogatáramú 02 gázfürdot és adott esetben legfeljebb 180 percig 100-200 Hter/óra térfogatáramú N2 gázfürdot használunk.
