198232. lajstromszámú szabadalom • Eljárás 1-20 atomszázalék germánium tartalmú, egykristályos szerkezetű germánium-szilícium vegyeskristály előállítására
7 HU 198232 B 8 zalék Ge tartalmú GeSi vegyeskriBtályt, vagy annyi tiszta germániumot helyezünk, hogy a kialakuló zóna Ge tartalma által meghatározott liquiduspont a zónázandó rúd Ge tartalma által meghatározott solidusponttal meg- 5 egyezzék, c.) a tisztított és/vagy homogenizált polikristályos rudat célszerűen felülettisztítás után ónmagában ismert nagyfrekvenciás fűtésű függfizónás berendezésben GeSi, vagy 10 Si egykristálymagra ültetve vákuumban, vagy indifferens gázatmoszférában egykristállyá húzzuk, amelynek során 20 mm/óra értéknél kisebb, célszerűen 5 mm/óra körüli húzássebességet és 0,5 s"1 értéknél nagyobb 15 forgássebességet alkalmazunk. 2. Az 1, igénypont szerinti eljárás azzal jellemezve, hogy a polikristály öntéséhez használt szilíciumdarab(-ok) hengeres alakú (-ak) és átmérője(-jük) 0,5-1 mm-rel kisebb- 20 (-ek) a szintén henger alakú, alul 1-2 mm átmérőjű nyílással rendelkező kvarc olvasztóedény belső átmérőjénél, amelybe a szillciuradarab(-ok) tetejére helyezzük a germánium darabo(-ka)t és nagyfrekvenciás tekercsesei felülről lefelé végezzük az olvasztást, miközben az olvasztóedényt forgatjuk és/vagy rázzuk. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás azzal jellemezve, hogy az elektronsugaras zónázást megelőző célszerű felülettisztítás során az öntött polikristályos rúd felületéről egy kb. 0,1-0,5 mm vastag réteget eltávolítunk, ezt célszerűen száraz módszerrel, mint csiszolással, köszörüléssel, homokfúvással, vagy ilyenek kombinációjával végezzük, majd gázsugárral portalanitjuk. 4. Az 1-3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás azzal jellemezve, hogy a polikristályos rúd függőzónás tisztítására és/vagy homogenizálására két, vagy több, egymással ellentétes irányban végighúzott, elektronsugárral olvasztott zóna kb. 20 mm/-óra sebességű áthúzását 0,3-0,35 s_1 forgatás mellett alkalmazzuk, és legalább az első zónaáthúzást követően a rúd felületét nedves eljárással, célszerűen maratással tisztítjuk. .Országos Találmányi Hivatal, Budapest - A kiadásért felel: Himmer Zoltán osztályvezető' R-4856 - KJK 90.2152.66-4 Alföldi Nyomda Debrecen - Felelős vezető: Benkő István vezérigazgató 6
