198230. lajstromszámú szabadalom • Vákuumgőzölögtető ber. vékonyrétegek felvitelére
HU 198230 B Int. Cl4: C 23 C 14/34 FS.5 FIE. 10
/
HU 198230 B Int. Cl4: C 23 C 14/34 FS.5 FIE. 10